目錄:蘇州愛拓利電子設備有限公司>>流量計>>氣體質量流量控制器>> MFC330氮氣質量流量控制器廠家
| 產地類別 | 國產 | 產品種類 | 質量式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 1-5千 | 介質分類 | 氣體 |
| 應用領域 | 環(huán)保,化工,生物產業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥 |
氮氣質量流量控制器廠家MFC330 系列氣體質量流量計/控制器,，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng),。
被測氣體進入后,，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量,、高精度比例閥動態(tài)響應快速調節(jié)氣體流量至設定值,。測量與調節(jié)流量的閉環(huán)結構，即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動,， 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制,。
氮氣質量流量控制器廠家MFC330 系列氣體質量流量控制器具有精度高、重復性好,、響應速度快,、穩(wěn)定性好、工作壓力范圍 寬,、極低零漂等特點,。模擬量和數(shù)字量等多種通訊方式可選，內置顯示屏可選,，操作配置靈活,。 MFM/MFC330廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜,、特種材料學科,、石油化工、醫(yī)藥,、環(huán)保等行業(yè)的氣流 測量和控制,。其典型的應用場合包括: 電子工藝設備, 如擴散、氧化,、外延,、CVD、等離子刻蝕,、濺射,、 離子注入; 以及鍍膜設備、光纖熔煉,、微反應裝置,、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量,、氣相色譜儀,、光譜儀、 質譜儀及其它分析儀器,。
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