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在蒸發(fā)鍍膜過程中,，如采用電阻加熱,、電子束加熱等方式使鍍膜材料蒸發(fā),，然后沉積在基底表面,。氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）用于精確控制真空腔內(nèi)的工藝氣體流量,。例如,，在鍍鋁膜時,，氬氣常作為保護氣體和輔助氣體引入,。MFC 精確控制氬氣流量,，能防止蒸發(fā)的鋁原子在飛行過程中被氧化,，確保鋁膜的純度和質(zhì)量。