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MFC330 傳感器基于毛細(xì)管柱熱式傳感器,，毛細(xì)管傳感器管通過(guò)氣體的熱容量來(lái)測(cè)量其內(nèi)部質(zhì)量流量,，氣體的熱量將熱量從上游電阻溫度檢測(cè)器繞組帶到下游繞組，二者都在傳感器管的外部,。

氣流進(jìn)入MFC后,，分成兩個(gè)內(nèi)部流路：

第一條路徑：流經(jīng)加熱的毛細(xì)管傳感器管，該管的直徑較小且長(zhǎng)度較長(zhǎng),。

第二條平行路徑：通過(guò)分流旁路,。

兩條路徑的流量比例取決于分流柱的設(shè)定，出廠前完成該設(shè)定,。

設(shè)定完成后,，通過(guò)毛細(xì)管柱傳感器管和分流旁路的流量之比是恒定的。

毛細(xì)管傳感器管通過(guò)氣體的熱容量來(lái)測(cè)量其內(nèi)部質(zhì)量流量,，氣體的熱量將熱量從上游電阻溫度檢測(cè)器繞組帶到下游繞組,，二者都在傳感器管的外部。

需要預(yù)熱： 5min 內(nèi)達(dá)到 95% 流量精度,，最長(zhǎng)預(yù)熱30min

基于熱傳導(dǎo),，MFC響應(yīng)速度≤ 1s  優(yōu)點(diǎn)：由于其非接觸式的結(jié)構(gòu)，抗腐蝕,，液體不損壞,，過(guò)流不損壞。