晶圓芯片存放氮?dú)夤駱?biāo)準(zhǔn)要求

一,、環(huán)境要求

晶圓儲(chǔ)存環(huán)境要求恒溫,、恒濕、無(wú)塵,，保持環(huán)境溫度在22±2℃,，相對(duì)濕度在40%~60%之間，維持晶圓品質(zhì),。另外,，環(huán)境中必須保持靜電防護(hù)，以避免出現(xiàn)損傷,。

二,、氮?dú)饧兌?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>
在存放晶圓的氮?dú)夤裰校獨(dú)獾募兌仁且粋€(gè)非常重要的參數(shù),。必須保證氮?dú)夤駜?nèi)的氮?dú)饧兌炔坏陀?9.999%,，以確保晶圓的質(zhì)量。

三,、溫度控制

晶圓存放氮?dú)夤駜?nèi),，必須保證恒溫，保持環(huán)境溫度在22±2℃之間,，以確保晶圓質(zhì)量的穩(wěn)定性,。

四、濕度控制

晶圓存放氮?dú)夤駜?nèi),，需要保持相對(duì)濕度在40%~60%之間,，這是因?yàn)闈穸葘?duì)晶圓有很大影響,，如果濕度高于60%，晶圓會(huì)出現(xiàn)結(jié)露,，進(jìn)而影響芯片品質(zhì),。

五、靜電防護(hù)

晶圓在制作過(guò)程中特別注重靜電的防護(hù),，因此在存放的時(shí)候也需要采取防護(hù)措施,。在氮?dú)夤裰行枰O(shè)置合適的靜電防護(hù)裝置，以確保晶圓放置在無(wú)靜電環(huán)境中,。

六,、柜體設(shè)計(jì)

晶圓存放氮?dú)夤竦慕Y(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)也是非常重要的，首先要保證柜內(nèi)是無(wú)塵的環(huán)境,，因此，柜體需要具有良好的密封性,。另外,，柜體內(nèi)的構(gòu)造和設(shè)計(jì)應(yīng)該考慮到晶圓的儲(chǔ)存密度，以便于存放更多的晶圓,。

【結(jié)論】

晶圓儲(chǔ)存環(huán)境對(duì)晶圓的品質(zhì)有很大影響,，晶圓存放氮?dú)夤袷且环N很好的存儲(chǔ)方式。在存放晶圓的氮?dú)夤裰?，需要考慮到環(huán)境溫濕度,、氮?dú)饧兌取㈧o電防護(hù)等諸多因素,，以保障晶圓的品質(zhì)穩(wěn)定性,，并且柜體的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和密封性也是非常重要的。因此,，科學(xué)合理地設(shè)置存放晶圓的氮?dú)夤袷欠浅Ｓ斜匾摹?/span>