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晶圓轉(zhuǎn)移臺的產(chǎn)品特點:
1.高精度定位:通過精密的絲桿和皮帶傳動,實現(xiàn)100-200納米的定位精度,。
2.穩(wěn)定性與可靠性:結(jié)構(gòu)設計考慮減少外部振動和熱膨脹的影響保證長時間運行的穩(wěn)定性和可靠性,。
3.易于操作:友好的用戶界面和控制邏輯,操作簡單直觀,,非專業(yè)人員也能快速上手,。
4.兼容性:能夠與各種實驗設備和測量儀器配合使用,如拉曼光譜儀,、掃描探針顯微鏡等,。
5.定制化和擴展性:增加了額外的Z軸來實現(xiàn)三維移動,根據(jù)不同的應用需求,,轉(zhuǎn)移臺還可以定制不同的尺寸,、行程、載重等參數(shù),。
晶圓轉(zhuǎn)移臺的產(chǎn)品配件:
1.控制系統(tǒng)
•手動控制器/界面:用于手動輸入移動命令,,控制樣品的位置和速度。
•半自動控制軟件:配備商用軟件用于輔助控制樣品的移動,,提供界面進行精確的位置設置,。
2.機械結(jié)構(gòu)
•樣品臺:承載樣品,可以沿X軸,、Y軸,、Z軸移動。
•導軌和滑塊:保證移動平臺的平穩(wěn)和精確移動,。
•電動升降臺:確保平臺沿Z軸的穩(wěn)定精確升降
3.傳動系統(tǒng)
•步進電機:用于驅(qū)動移動平臺,,實現(xiàn)精確控制。
•絲桿和皮帶傳動:將電機的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為平臺的線性移動,。
4.傳感器
•位置傳感器:用于監(jiān)測和控制平臺的確切位置,。
•限位開關(guān):防止平臺超出其最大行程范圍。
5.樣品固定裝置
•真空吸盤和夾具:用于穩(wěn)固地固定樣品,,防止移動過程中的移位或損壞,。
6.電源和接線
•電源單元:為控制系統(tǒng)和電機提供穩(wěn)定的電源。
•接線和連接器:確保電源和控制信號的穩(wěn)定傳輸,。
7.安全裝置
•緊急停止按鈕:用于在緊急情況下立即停止所有運動,,確保操作安全。
•外殼:保護操作人員免受移動部件傷害,,防止塵埃和雜物進入設備內(nèi)部,。
8.附件和可選組件
•顯示器或指示燈:提供操作反饋和系統(tǒng)狀態(tài)指示,。
•定制夾具:根據(jù)特定樣品的形狀和大小定制的夾具。