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概要

實時的干涉測量設備,，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面,，由于膜厚和高度變化導致不同的光路長度時,，使用干涉測量法。通過循環(huán),，系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實時監(jiān)測的方法計算蝕刻和鍍膜的速度,，在規(guī)定的膜厚和槽深來進行終點檢測?；谶@個相對簡單的理論,，系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定，并且可用于復雜的多層薄膜,。

特征

•  兩種類型的激光器,，可兼容大范圍的薄膜，包括SiN, SiO₂, GaAs, InP, AlGaAs, and GaN.
• 生產(chǎn)線使用內(nèi)置軟件,。
• 終點檢測法的靈活應用,。
• *的加工特點。