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當前位置:深圳秋山工業(yè)設備有限公司>>泵閥類>>泵>> IMP&G 機頭:ICF070日本vaclab反向磁控管式NEG支撐泵真空計
產品型號IMP&G 機頭:ICF070
品 牌其他品牌
廠商性質經(jīng)銷商
所 在 地深圳市
更新時間:2024-10-12 07:29:48瀏覽次數(shù):292次
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日本vaclab反向磁控管式NEG支撐泵真空計 IMP&G 機頭:ICF070 特點介紹
1.與NEG泵組合使用逆磁控管型離子泵(單電池)
2.用于排出殘留的氮氣和甲烷的泵
3.10-10也可以用到Pa為止冷陰極真空計
4.僅密封NEG即可達到的真空為10-8Pa,,通過追加本機可達到10-10Pa臺可到達
5.即使在真空區(qū)域也能可靠地啟動放電(帶啟動按鈕)
6.NEG泵激活時可動作
7.SUS制,、BeCu合金制
日本vaclab反向磁控管式NEG支撐泵真空計 IMP&G 機頭:ICF070 規(guī)格參數(shù)
形式:IM P&G電極:圓筒陰極(Ta),,螺旋陽極(W)排氣速度:1L/s(Ar),,4L/s(CH4)適用NEG泵:50~2000L(H2)/s真空測量范圍:10-10Pa~10-3Pa泵殼體:SUS316L或0.2%BeCu釹磁鐵:4kG,,烘烤溫度(80°C)薩馬科瓦磁鐵:3.8kG,烘烤溫度(280°C)電子沖擊加熱功率:1000V×100mA施加電壓:5kV,,100μA安裝法蘭:ICF070(Cu襯墊)頭重量:2.8kg
■倒置磁控管型NEG輔助泵IMP&G是一種離子泵,,當NEG泵抽真空至超高/超高真空時,可排出剩余的氬氣和甲烷,。也可用作高精度冷陰極型真空計,,可測量高達 1×10 -10 Pa的壓力。
■我們成功地為倒置磁控管型冷陰極真空計增加了排氣功能,。傳統(tǒng)的倒磁控管型冷陰極真空計幾乎沒有抽真空作用,,并且從未有過將倒磁控管型單元用作離子泵的泵單元的例子。之所以沒有排氣效應,,是因為組成陰極的電極表面是氧化層,。我們通過在真空中將陰極(Ta)加熱到1000℃以上,成功地產生了排氣效果,。通過加熱,,電極表面的氧化物被去除,稀有氣體離子通過捕獲(捕獲)被排出,,這是在構成陰極的金屬之間捕獲離子的作用,。
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