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當前位置:深圳秋山工業(yè)設備有限公司>>化工機械設備>>真空計>> M-351PG日本Anelva皮拉尼真空計耐腐蝕性半導體設備
產(chǎn)品型號M-351PG
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地深圳市
更新時間:2024-10-10 07:43:51瀏覽次數(shù):219次
聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 5千-1萬 |
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應用領域 | 環(huán)保,能源,電子,電氣,綜合 |
日本Anelva皮拉尼真空計耐腐蝕性半導體設備 M-351PG 特點介紹
該型號使用Ni絲來提高耐腐蝕性,,并與RIE和CVD等硬工藝設備兼容,。
半導體,、電子器件制造設備,、
干式蝕刻設備,、等離子體CVD設備,、LD-CVD設備等
食品藥品制造設備
真空冷凍干燥、真空蒸餾設備,、滅菌設備等,。
日本Anelva皮拉尼真空計耐腐蝕性半導體設備 M-351PG 規(guī)格參數(shù)
型號名稱M-351PG-SP
(鎳絲規(guī)格)(帶設定點型)
測量壓力范圍5×10 -2 ~ 1×10 5 (Pa)
精度(帕)±50%:5×10 -2 ~ 1×10 -1
±15%:1×10 -1 ~ 1×10 4
±50%:1×10 4 ~ 1×10 5
再現(xiàn)性±2%:1×10 -1 ~ 1×10 4 Pa
輸入電壓直流+14~30V
能量消耗2W
模擬輸出0-10V
表計識別電阻值13 KΩ(D-sub 引腳 5 和 9 之間)
設定點2 個接點輸出(1 A 30 V,DC)
界面-
輸入/輸出連接器D-sub9針
最大電纜長度兼容200 m (0.34 mm 2 ) *1
工作溫度限制5~60℃
儲存溫度范圍-20 至 70°C(非工作)
烘烤溫度<+150 ℃(O型圈規(guī)格,,僅測頭)
<+300 ℃(金屬密封規(guī)格,,僅測頭)
允許過載壓力1 MPa(僅限于接頭形狀NPT,、僅限于惰性氣體、絕壓)
兼容的皮拉尼傳感器型號名稱MP-2
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