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當前位置:深圳秋山工業(yè)設備有限公司>>化工機械設備>>真空計>> M-342DG日本進口Anelva電容表真空表高精度測量壓力
產(chǎn)品型號M-342DG
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地深圳市
更新時間:2024-10-10 07:30:18瀏覽次數(shù):647次
聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 5千-1萬 |
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應用領域 | 環(huán)保,能源,電子,電氣,綜合 |
日本進口Anelva電容表真空表高精度測量壓力 M-342DG 特點介紹
電容式壓力計“M-342DG"在壓力傳感器部分采用了小型硅MEMS芯片,最大限度地減少了溫度,、振動和大氣壓力波動等外部環(huán)境的影響,,并實現(xiàn)了高精度和穩(wěn)定的隔膜真空壓力測量。
達到調(diào)零最小頻率的儀表,。
高精度,、穩(wěn)定的壓力測量
?出色的零點穩(wěn)定性
?溫度依賴性低,,無需溫度調(diào)節(jié)機構即可實現(xiàn)出色的穩(wěn)定性
?出色的抗振性和噪音性
緊湊,、低功耗
、重量 200 g,、尺寸 W46 mm x H49 mm x L106 mm,、輕量且緊湊 (*1)
、功耗 0.5 W
日本進口Anelva電容表真空表高精度測量壓力 M-342DG 規(guī)格參數(shù)
廣泛兼容真空壓力的高精度,、長期穩(wěn)定測量
半導體,、顯示器、太陽能電池等各種真空設備,、
濺射,、PECVD等真空成膜工藝壓力控制,、監(jiān)視
/負載鎖定室、晶圓冷卻等氣體導入工藝,、系統(tǒng)壓力管理,。
用于醫(yī)療、生物,、食品等行業(yè)的各種涂層,、等離子體處理、真空密封,、真空爐,、分析設備、滅菌,、真空泵評估,、分子蒸餾等,以及各種研發(fā)應用,。
型號名稱M-342DG
-1D-1N-11-12-13
滿量程壓力 (Pa)13.33 133.3 1.333k 13.33k 133.3k
測量精度(讀數(shù)的%)0.20(23℃時)
零點溫度系數(shù)(% of FS/℃)0.01 0.005 0.002
量程溫度系數(shù)(%讀數(shù)/℃)0.01 0.005
分辨率(滿量程的%)0.01 0.005
測量下限壓力(滿量程的%)0.01
實際測量下限壓力(滿量程的%)0.05
實際控制下限壓力(滿量程的%)0.5
響應速度(毫秒)100 30
壓力上限200 kPa(但是,,對于NW16和NW25,內(nèi)部壓力不得為正)
*13.33 Pa規(guī)格為130 kPa
電源電壓(VDC)+13.5~26.4
功耗(瓦)0.5
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