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當(dāng)前位置：深圳秋山工業(yè)設(shè)備有限公司>>過(guò)程控制儀器>>壓力控制器>> EPS-5200/EPS-5150日本kk-ace氣壓計(jì)控制器EPS5000系列差壓表
產(chǎn)品型號(hào)EPS-5200/EPS-5150
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商
所 在 地深圳市
更新時(shí)間：2024-10-09 07:07:17瀏覽次數(shù)：228次
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 6千-1萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子,電氣,綜合 |
日本kk-ace氣壓計(jì)控制器EPS5000系列差壓表 EPS-5200/EPS-5150/EPS-5100 特點(diǎn)介紹
該裝置是防止單晶圓清洗設(shè)備的主排氣管道中的壓力波動(dòng)導(dǎo)致制造過(guò)程波動(dòng)的裝置,。我們開(kāi)發(fā)的氣動(dòng)橡膠膨脹閥可實(shí)現(xiàn)高速壓力控制,，尺寸小，壓力損失極低,。
通過(guò)適當(dāng)控制排氣壓力,，還可以適當(dāng)管理排氣流量,，從而可以通過(guò)管理排氣管道的總流量和壓力來(lái)顯著降低能源成本。
主要用途
? 單晶圓清洗設(shè)備的腔室壓力控制
? 潔凈通風(fēng)室和潔凈卡車(chē)的室壓控制
? 受排氣管壓力波動(dòng)影響的設(shè)備和工藝
? 液晶顯示風(fēng)刀罐排氣壓力控制
? 潔凈室排氣壓力控制
日本kk-ace氣壓計(jì)控制器EPS5000系列差壓表 EPS-5200/EPS-5150/EPS-5100 規(guī)格參數(shù)
壓力損失 15 Nm3/min 時(shí) 50Pa（空氣） 10 Nm3/min 時(shí)20Pa以下（空氣） 10 Nm3/min 時(shí)20Pa以下（空氣）
控制閥連接 200A 管道輸出 150A 管道輸出 100A配管
調(diào)節(jié)壓力范圍（一次側(cè)壓力） -50至-999Pa（取決于與大氣壓力和二次壓力的壓差）
二次壓力（閥門(mén)下游壓力） (控制壓力-50)Pa以下
如果壓差小于該值,，則初次調(diào)節(jié)范圍會(huì)變窄,。
壓力精度 ±2%滿(mǎn)量程
控制紋波（穩(wěn)定控制時(shí)的變化） ±1%滿(mǎn)量程（二次側(cè)壓力波動(dòng)±10Pa以?xún)?nèi)）
耐壓（一次側(cè)壓力） 50kPa以?xún)?nèi)（與大氣壓的壓差）
反應(yīng)能力 2 秒內(nèi)完成 98% 的設(shè)置（典型）
流體溫度 10～50℃
主機(jī)環(huán)境溫度（精度保證溫度） 15-35℃
電源電壓 24V直流±10%
外部輸出 壓力信號(hào)：1至5V DC
報(bào)警：NPN晶體管集電極開(kāi)路 DC 30V<100mA
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