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當前位置：深圳秋山工業(yè)設備有限公司>>光學器件>>測量儀>> SIT-200日本alnair-labs硅片厚度測量儀光學檢查儀
產(chǎn)品型號SIT-200
品 牌Alnair Labs
廠商性質經(jīng)銷商
所 在 地深圳市
更新時間：2024-10-08 09:34:02瀏覽次數(shù)：309次
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 環(huán)保,能源,電子,電氣,綜合 |
|---|
日本alnair-labs硅片厚度測量儀光學檢查儀 Alnair Labs SIT-200 特點介紹
1,、機械損耗低,、機械滯后低
2.可制造長行程產(chǎn)品。
3,、維護方便
4,、結構簡單，不存在常規(guī)產(chǎn)品因卡膠而發(fā)生故障的現(xiàn)象,。
氣缸滑動部位通過小泄漏氣膜進行潤滑,，滑動阻力低,，磨損極小。
5. 微壓操作
6,、壽命長
7,、操作油缸部分采用CFRP（增強碳纖維管）制成，重量輕,。
8. 抗不平衡負載能力
9. 氣缸桿可承受高負載（直線導軌）
10. 活塞部分使用滾珠襯套與線性導軌集成在一起
日本alnair-labs硅片厚度測量儀光學檢查儀 Alnair Labs SIT-200 規(guī)格參數(shù)
測定対象物
シリコン基板
厚み測定範囲
10~500 (n=3.5のとき)
μm
測定光源
波長可變光源(1515~1585)
nm
光出力バフ一
0.6,、クラス1
mW
ガイド用光源
赤色LD、 クラス1M
計測時間
最小20
ms
測定再現(xiàn)性
0.1以下 (3σにおいて)
μm
モ二タ出力
干涉出力信號
PO インタ一フエ一ス
Ethernet
電源電莊
AC 100-240(50/60 Hz)V
外観寸法(WxHxD)
364x 147x391mm
重量
9kg
工作溫度和濕度 20℃～25℃ 50%RH以下
可制造型號 懸臂式單作用,，帶雙滾珠襯套
最小驅動壓力 200pa（低摩擦規(guī)格） φ40用
漏氣量 90L/min以下（0.4Mpa時） φ40×200ST用（低摩擦規(guī)格）
滯后現(xiàn)象 平均0.6N φ40×200ST
位置負載能力 φ40×200ST 3430N（最大動載荷）
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