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YAMADA山田光學(xué)用于檢測各種缺陷宏觀觀察用照明裝置檢查燈YP-150I/YP-250I
高亮度鹵素光源裝置在半導(dǎo)體芯片及液晶基板加工
是宏観観察用的照明設(shè)備,,可検測各種缺陥如半導(dǎo)體晶片及液晶基板加工中最費(fèi)人工的成形製品表面的異物、刮痕,、拋光不均,、霧狀、劃傷等,。
用于檢測各種缺陷的宏觀觀察用照明裝置檢查燈,。
1、可照亮樣品表面400,000Lx以上,。
2,、光源采用鹵素?zé)簦珳馗?,照度不均小,,光線極其穩(wěn)定銳利。
3,、采用冷鏡,,熱量的影響極大地降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3。
4,、兩級切換機(jī)構(gòu),,一鍵實(shí)現(xiàn)高照度觀察和低照度觀察。
YP-150I 照度范圍:30mmφ
YP-250I 照度范圍:60mmφ
超精密平面檢測的理想選擇,!通過驚人的照明,,可以檢測小于 0.2 μm 的缺陷。
YP-150I"是一種用于顯微觀察的照明裝置,,用于檢測
最終成品表面上的各種缺陷,,如異物、劃痕,、拋光不均勻,、霧度、滑移等,,是半導(dǎo)體加工過程中勞動強(qiáng)度的一種,。晶圓和液晶板
另外,,由于采用鹵素?zé)糇鳛楣庠矗珳馗撸?/p>
光照不均勻的情況很少,,光照***穩(wěn)定銳利,。
姊妹機(jī)“YP-250I"也可用于 8 英寸,。
光源采用鹵素?zé)?/p>
■ 可以將樣品表面照射到400,000 Lx或更高
■ 熱量的影響降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3
■ 高照度觀察和低照度觀察可一鍵切換
請用于超精密平面檢測,!
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