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Ensinger用于CMP研磨環(huán)的未填充PPS塑料聚苯硫醚用于半導(dǎo)體行業(yè)
TECATRON CMP natural是一種未填充PPS塑料 (聚苯硫醚),，專門針對CMP研磨環(huán)應(yīng)用而優(yōu)化,，因此是恩欣格半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)品系列中的一員。
TECATRON CMP natural材料具有的性能，相比標準PPS聚合物，在用作CMP研磨環(huán)時能減少微劃痕和晶圓級缺陷,。
TECATRON CMP natural的原名是TECATRON SE natural。
材料選擇的關(guān)鍵挑戰(zhàn)是CMP研磨環(huán)材料性能的微小差異將影響襯墊凸起的形狀,。
這種改變將導(dǎo)致不同數(shù)量的襯墊碎片,，并影響碎片夾帶的程度，進而對CMP工藝的整體性能產(chǎn)生重大影響,。
研究表明,，TECATRON CMP在一定程度上磨損研磨墊，因此研磨墊粗糙度得到改善,，從而提高了材料的去除率,，同時也減少了缺陷。
(見研究報告,，此產(chǎn)品在文章中被稱為TECATRON SE,，是TECATRON CMP材料的舊稱)
與恩欣格所有半導(dǎo)體級材料一樣，TECATRON CMP natural管材的生產(chǎn)符合半導(dǎo)體的精確復(fù)制要求 (也稱為精確復(fù)制或CE),，與工業(yè)級PPS相比，它的質(zhì)量控制更為嚴格,。
與標準工業(yè)級PPS塑料相比,，額外的質(zhì)量控制和措施降低了材料的雜質(zhì)風險，改善了其內(nèi)部應(yīng)力和尺寸穩(wěn)定性,。
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