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平場光譜儀，采用全息凹球面變線距光柵進行分光,，具有平場特性，便于使用面陣CCD記錄光譜,。光柵工作在掠入射模式下,，衍射效率高，同時通過選用不同的光柵型號,，可以實現(xiàn)波長范圍0.6~200nm的全覆蓋,。

平場光譜儀可應用于強場與高密度物理、半導體與集成電路制造和探測器,、光源計量級標定,。

主要參數(shù)：

● 光柵類型： 凹球?變線距光柵

● 波?范圍： 0.6~200nm(選配)

● 光譜分辨率： [email protected]， 可根據(jù)需求優(yōu)化

● 探測器類型： 科研級相機

● 前置收光可選

● 具備遠程激光快速瞄準定位功能

● ?真空兼容,，5×10-3 Pa

● 具有5μm~300μm在線連續(xù)可調狹縫

光柵參數(shù)：

選配范圍：

測試數(shù)據(jù)：

應用領域：