四探針測試儀型號：BN/RTS-4

四探針測試儀

四探測試儀是運(yùn)用四探測量原理的多用途綜合測量設(shè)備,。該儀器按照單晶硅物理測試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器,。

儀器由主機(jī),、測試臺、四探探頭,、計(jì)算機(jī)等部分組成,，測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析,，然后以表格,，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測試結(jié)果。
儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì),、裝配,。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快,、精度高,、測量范圍寬、穩(wěn)定性好,、結(jié)構(gòu)緊湊,、易操作等特點(diǎn)。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠,、半導(dǎo)體器件廠,、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試,。
技術(shù)指標(biāo)
測量范圍 
電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴(kuò)展),； 
方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴(kuò)展)；
電導(dǎo)率：0.0005～10000 s/cm,；
電阻：0.0001～2000Ω,；
可測晶片直徑 
140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺),；
400mmX500mm(配S-2C型測試臺),；
恒流源：電流量程分為0.1mA,、1mA、10mA,、100mA四檔,，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表：量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
分辨力：10μV,；
輸入阻抗：>1000MΩ,；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示,；極性,、量程自動顯示；
四探探頭基本指標(biāo) 間距：1±0.01mm,；
間絕緣電阻：≥1000MΩ,；
機(jī)械游移率：≤0.3%；
探：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm,；
探壓力：5～16 牛頓(總力),；
四探探頭應(yīng)用參數(shù) (見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行) 0.1Ω、1Ω,、10Ω,、100Ω小于等于0.3%±1字
整機(jī)測量大相對誤差 (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤5%
軟件功能（選配）軟件可記錄、保存,、打印每一點(diǎn)的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計(jì)分析測試數(shù)據(jù)大值,、小值,、平均值、大百分變化,、平均百分變化,、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,，對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能,，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試,。
計(jì)算機(jī)通訊接口：并口，高速并行采集數(shù)據(jù),，連接電使用時采集數(shù)據(jù)到電的時間只需要1.5秒
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 溫度：23±2℃,；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾,；
無強(qiáng)光直射,；