四探針測試儀型號：BN/RTS-8

四探針測試儀

是運(yùn)用四探測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,，于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器,。

儀器由主機(jī)、測試臺,、四探探頭,、計(jì)算機(jī)等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,，亦可由計(jì)算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析,，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測試結(jié)果,。
儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì),、裝配。具有功能選擇直觀,、測量取數(shù)快,、精度高,、測量范圍寬、穩(wěn)定性好,、結(jié)構(gòu)緊湊,、易操作等特點(diǎn)。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠,、半導(dǎo)體器件廠,、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試,。RTS-8型四探軟件測試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序,，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項(xiàng)測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
測試程序控制四探測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù),，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄,、顯示出來,。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析技　術(shù)　指　標(biāo) ：
測量范圍
電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴(kuò)展),；
方塊電阻：10-4～106 Ω/□(可擴(kuò)展)；
電導(dǎo)率：10-5～105 s/cm,；
電阻：10-5～105 Ω,；
可測晶片直徑
140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺),；
400mmX500mm(配S-2C型測試臺),；
恒流源
電流量程分為1μA、10μA,、100μA,、1mA、10mA,、100mA六檔,，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表
量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
分辨力：10μV,；
輸入阻抗：>1000MΩ,；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示,；極性,、量程自動顯示；
四探探頭基本指標(biāo)
間距：1±0.01mm；
間絕緣電阻：≥1000MΩ,；
機(jī)械游移率：≤0.3%,；
探：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探壓力：5～16 牛頓(總力),；
四探探頭應(yīng)用參數(shù)
(見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)
0.01Ω,、0.1Ω、1Ω,、10Ω,、100Ω、1000Ω,、10000Ω≤0.3%±1字
整機(jī)測量大相對誤差
(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度
≤5%
測試模式
可連接電測試也可不連接電測試
軟件功能（選配）
軟件可記錄,、保存,、打印每一點(diǎn)的測試數(shù)據(jù),，并統(tǒng)計(jì)分析測試數(shù)據(jù)大值、小值,、平均值,、大百分變化、平均百分變化,、徑向不均勻度,、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,，對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析,。軟件還可選擇自動測量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試,。
計(jì)算機(jī)通訊接口
并口,，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電的時(shí)間只需要1.5 秒（在 0.1mA,、1mA,、10mA、100mA量程檔時(shí)）,。
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境
溫度：23±2℃,；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾,；
無強(qiáng)光直射,；