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壓電載物臺·高負載通孔型 Carrier.S100.xyRz.C

? 高負載·高速XY平面運動,，Z軸旋轉(zhuǎn)設(shè)計，保證XY面內(nèi)準直運動

• 兩維度 XY 掃描運動100 um, Z軸旋轉(zhuǎn)運動1 mrad,；

• 閉環(huán)分辨率優(yōu)于 1 nm,；

• 最大負載 5 kg；

• 針對光學顯微鏡-超分辨定制化解決方案,；

• ?持無磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級,；

壓電偏轉(zhuǎn)臺，高負載通孔型,，XYRz方向——詳細參數(shù)：

壓電偏轉(zhuǎn)臺,，高負載通孔型，XYRz方向——尺寸圖：

多場科技“壓電掃描臺·通孔型"解決方案包括Carrier.S 系列（標準型）和Carrier.SL 系列（輕量型）,。Carrier.S & SL系列主要針對精密光學，半導體表征等應(yīng)用場景,，覆蓋載物臺“大行程·高精度·重負載"等需求,，核心特點包括：

• 運動方式覆蓋線性運動 & 俯仰運動

• X，Z,，XY,，XYZ & ZTT等運動形式全面支持

• 線性運動行程覆蓋100 um 到 300 um (可定制更大行程)

• 支持電容(.C) 位置傳感

• 最高分辨率達到0.2 nm

• 超快運動響應(yīng) & 長時間疲勞測試

• 支持無磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級