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Free3D.ZTxTy.150-壓電三軸并聯(lián)位移臺,,三自由度,,ZTT移動
  • Free3D.ZTxTy.150-壓電三軸并聯(lián)位移臺,,三自由度,,ZTT移動

貨物所在地:北京北京市

更新時間:2025-05-04 21:00:07

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Free3D.ZTxTy.150,,壓電三軸并聯(lián)位移臺,,三自由度,ZTT移動,;由納米級驅(qū)動單元實現(xiàn)的三自由度并聯(lián)結(jié)構(gòu),,有效降低累積誤差;多軸姿態(tài)同時調(diào)節(jié),、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,、剛性高。

壓電·三軸并聯(lián) Free3D.ZTxTy.150

? 3自由度并聯(lián)設(shè)計,,空間中ZTT移動

由納米級驅(qū)動單元實現(xiàn)的三自由度并聯(lián)結(jié)構(gòu),,有效降低累積誤差

多軸姿態(tài)同時調(diào)節(jié),、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,、剛性高

平動行程:Z  ±5 mm,;

主體材料:鋁合金,;

角擺行程:ΘX, ΘY, ±3 °, ±3 °

最大垂直負載:3 kg,;

• 單向重復(fù)定位精度Z±0.15 μm,;

單向重復(fù)定位精度ΘX, ΘY±2.5 μrad, ±2.5 μrad

最小位移Z:25 nm,;

最小位移ΘX, ΘY:7.5 μrad, 7.5 μrad,;

• 速度:1 mm/s - 10 mm/s

重量:1.5 kg,;

可提供真空環(huán)境規(guī)格,;

集成傳感器:光學編碼器

位置傳感分辨率:2 nm,;

控制軟件:提供PC端使用軟件;

控制器通道:3通道輸出控制;

 控制方式:根據(jù)用戶輸入的位移指令,,實現(xiàn)對位移臺三軸空間姿態(tài)的運動調(diào)節(jié);各驅(qū)動單元模塊通過光柵位置反饋實現(xiàn)閉環(huán)控制,;通過專用軟件,實現(xiàn)對三軸并聯(lián)運動的解算,分配到各驅(qū)動單元模塊,,實現(xiàn)三軸空間姿態(tài)的同時調(diào)節(jié)


壓電三軸并聯(lián)位移臺,,三自由度,ZTT移動——詳細參數(shù):



壓電三軸并聯(lián)位移臺,,三自由度,,ZTT移動——尺寸圖

壓電三軸并聯(lián)位移臺,三自由度,,ZTT移動




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