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EI(electronics-inc)流量閥
EI MC MagnaValve是一款智能磁控流量閥,，采用多級磁感驅(qū)動與AI動態(tài)校準技術(shù)，支持超高壓（50 bar）流體精準調(diào)控,，適配化工,、半導(dǎo)體及氫能源系統(tǒng)，實現(xiàn)零泄漏,、毫秒級響應(yīng)與遠程運維,。

EI(electronics-inc)流量閥

產(chǎn)品概述

EI Electronics MC MagnaValve是新一代工業(yè)級智能流量控制閥，專為壓力,、高潔凈度及超精密流體場景設(shè)計,。其創(chuàng)新性融合了EI的MagnaCore™多級磁感驅(qū)動系統(tǒng)與嵌入式AI控制芯片，可在0.1-50 bar超寬壓力范圍內(nèi)穩(wěn)定調(diào)節(jié)氣體,、液體及納米級懸浮介質(zhì)的流量,。該產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、氫能儲運,、生物醫(yī)藥等高技術(shù)領(lǐng)域,，以納米級精度、全生命周期自診斷及多協(xié)議物聯(lián)能力，重新定義工業(yè)流體控制標準,。

核心技術(shù)特點

多級磁感驅(qū)動架構(gòu)（MagnaCore™）?

采用五層軸向磁路陣列設(shè)計,，驅(qū)動力密度較傳統(tǒng)電磁閥提升3倍，響應(yīng)時間≤5ms,。閥芯采用碳化硅陶瓷與納米鍍層工藝,，耐受氫氟酸、超純水等介質(zhì),，工作溫度范圍擴展至-196℃（深冷）至300℃（高溫）,，使用壽命突破5000萬次循環(huán)。

AI動態(tài)校準系統(tǒng)?

集成多模態(tài)傳感器（流量,、壓力,、溫度、振動）,，每秒執(zhí)行2000次數(shù)據(jù)采集,，通過內(nèi)置TensorFlow Lite模型實時優(yōu)化控制參數(shù)。支持MQTT/OPC UA協(xié)議,，實現(xiàn)與工業(yè)4.0平臺的毫秒級數(shù)據(jù)同步,，流量控制精度達±0.1% FS。

全封閉潔凈設(shè)計?

閥體采用電化學(xué)拋光316L超低碳不銹鋼,，流道表面粗糙度Ra≤0.1μm,，滿足SEMI F57超純水標準?？蛇x配真空級密封（漏率＜1×10?? mbar·L/s）與ISO 1級潔凈室裝配工藝,，適配芯片光刻膠、疫苗原液等超敏感介質(zhì)輸送,。

應(yīng)用場景

半導(dǎo)體制造?：極紫外光刻（EUV）設(shè)備冷卻劑流量控制,、晶圓清洗超純水分配。

氫能源系統(tǒng)?：70MPa高壓氫氣管網(wǎng)壓力調(diào)節(jié),、液氫儲罐加注流量管理,。

生物制藥?：mRNA疫苗微流控生產(chǎn)、一次性生物反應(yīng)器培養(yǎng)基精準供給,。

科研裝置?：聚變堆超導(dǎo)磁體液氦循環(huán),、同步輻射光源液態(tài)金屬靶控制。

性能優(yōu)勢

超高壓能力?：50 bar連續(xù)工作壓力,，峰值耐受100 bar沖擊載荷。

納米級潔凈?：通過FDA 21 CFR Part 11電子記錄認證,，顆粒釋放量＜5 particles/mL（≥0.5μm）,。

自主運維?：數(shù)字孿生系統(tǒng)預(yù)測閥門健康狀態(tài)，自動生成維護工單并推送備件清單,。

能效?：動態(tài)功耗＜2W（@24VDC）,，較同類產(chǎn)品節(jié)能60%,。

技術(shù)參數(shù)

項目參數(shù)值

公稱通徑DN6/DN10/DN15/DN20

工作壓力0.1-50 bar（標準）/ 100 bar（定制）

介質(zhì)兼容性氣體/液體/納米漿料（粘度≤10? cP）

控制信號4-20mA/EtherCAT/Profinet IRT

泄漏等級ANSI/FCI 70-2 Class VI（金屬密封）

認證標準SEMI S2/S8、ASME BPE,、ISO 14644-1

安裝與維護

需采用無應(yīng)力安裝工藝,，配套EI HyperMount™對中夾具確保法蘭平行度≤0.02mm。維護時通過NFC近場通信獲取設(shè)備檔案,，支持熱插拔更換核心模塊（MTTR＜15分鐘）,。每5年執(zhí)行一次全性能校準，EI全*服務(wù)中心提供原位標定服務(wù),。

認證與質(zhì)保

通過ISO 9001:2015,、CE（2014/34/EU ATEX）、SIL 3（IEC 61508）認證,，質(zhì)保期升級至5年（含AI核心模塊）,。所有生產(chǎn)數(shù)據(jù)上鏈存證，用戶可通過EI Blockchain Portal追溯每個零部件的材料批次與測試記錄,。

如需獲取潔凈室安裝指南或參與定制化開發(fā)項目,，請登錄EI Industry 4.0 Hub或聯(lián)系專屬技術(shù)顧問。

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