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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
產(chǎn)品簡介： 快速升溫 CVD 系統(tǒng) RTP-1000-F3LV 是專為半導(dǎo)體基片,、太陽能電池及其它樣品（尺寸可達
3″ ）的退火而設(shè)計,， 配有 3 路流量計和機械泵。本機采用 9KW 的紅外燈進行加熱,， 升溫速度可達
100℃/s ,，配有 RS485 接口，可以通過控制軟件在計算機上控制運行并顯示溫度曲線,。
產(chǎn)品型號 | 快速升溫 CVD 系統(tǒng) RTP-1000-F3LV |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下,， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用,。 |
1,、水：不需要 | |
2、電： AC220V 50Hz,，必須有良好接地 | |
3,、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源 | |
4,、工作臺： 尺寸 600mm×600mm×700mm ,，承重 50kg 以上 5、通風(fēng)裝置：需要 | |
主要特點 | 1 ,、雙層 Al2O3 纖維鋼構(gòu),，無需水冷或風(fēng)冷。 |
2,、內(nèi)爐膛表面涂有進口高溫氧化鋁涂層,，可以提高設(shè)備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。 | |
3 ,、PID 控制器 ,，可以設(shè)置 30 段升降溫程序，并設(shè)有過熱保護和斷偶功能,。 | |
4 ,、已通過 CE 認證,。 | |
技術(shù)參數(shù) | 1 、電源： 單相 208V-240V AC 50Hz/60Hz 9KW |
2,、石英管： 外徑 ?110mm ,，內(nèi)徑 ?103mm ，長 380mm | |
3,、加熱元件：紅外燈管,， 直徑 ?10mm ,，長 300mm | |
4,、加熱區(qū)： 300mm |
5 、工作溫度： 溫度 1100℃ | |
6 ,、控溫精度：±0.5℃ | |
7,、升溫速度： RT-800℃時為 50℃/s ，800℃-1000℃時為 10℃/s | |
8,、溫控儀：可控硅（ SCR）PID 自動控制 | |
9 ,、真空法蘭： 不銹鋼，帶有水冷接口和針閥,，雙層高溫 O 型圈密封,，長時間在>900℃條件下 運行必須采用水冷， 循環(huán)水流量為 0.5m3/hr | |
10,、真空度： 10-3torr | |
11,、流量計： 3 個， 量程 40cc/min-400cc/min ,，精度 4%FS | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸： 爐體 760mm×330mm×530mm ,，真空混氣系統(tǒng) 600mm×600mm×597mm |
重量： 爐體 45kg ，真空混氣系統(tǒng) 30kg | |
可選配件 | 防腐型數(shù)字式真空顯示計 |