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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品簡介： GPC-100A 精確磨拋控制儀簡稱磨拋控制儀,， 主要用來控制被研磨樣品表面的平面度和平行度,， 使磨拋后的樣品具有高的尺寸精度和質(zhì)量優(yōu)良的表面狀態(tài)。磨拋控制儀采用質(zhì)量優(yōu)良的不銹鋼材料制成,， 外形美觀,，制造工藝，主要適用于 UNIPOL-1202,、UNIPOL-1502 研磨拋光機(jī)上,，是工件進(jìn)行磨拋時(shí)不 可缺少的精密磨拋器具， 尤其適用于晶圓樣品,、表面平行度和平面度要求高的大的圓片狀樣品的研磨,。 GPC-100A 精確磨拋控制儀專用載樣塊用螺紋與控制儀進(jìn)行連接， 試樣裝卡方式為真空吸附,， 并配有數(shù)顯 厚度測量儀,，可實(shí)時(shí)監(jiān)測樣品減少的厚度，承載樣件直徑不大于 103mm ,、厚度不大于 13mm 且具有工藝重 復(fù)性高的優(yōu)點(diǎn),。
產(chǎn)品名稱 | GPC-100A 精 確磨拋控制儀 |
產(chǎn)品型號 | GPC-100A |
主要特點(diǎn) | 可嚴(yán)格控制被磨樣品表面的平行度和平面度，控制準(zhǔn)確度高,。研磨過程中可搭配數(shù)顯測厚儀使 用,，隨時(shí)觀測樣品磨削量，尤其適用于表面平行度和平面度及樣品厚度要求高的晶圓樣品研磨 使用。 |
技術(shù)參數(shù) | 1,、載樣盤直徑： ?103mm 2,、載樣盤軸向行程： 12mm 3、數(shù)顯表精度： 0.001mm 4,、載樣盤可調(diào)加載壓力： 0.1kg-2.1kg 5,、壓力確認(rèn)儀有效量程： 1g-5000g 6、樣品裝卡方式：真空吸附 7,、承載樣件尺寸：直徑≤ 103mm,、厚度≤ 13mm |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸： 外徑 146mm ，高 266mm |
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1,、真空泵 |
2,、過濾瓶 3、底座 4,、玻璃片 |