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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀,，可進(jìn)行金、鉑,、銦,、銀等多種金屬的濺射鍍膜，樣品直徑可達(dá)50mm ,，鍍膜厚度可達(dá)300Å,，特別適用于SEM 樣品表面的鍍膜。GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表,，用以指示,、監(jiān)控儀器狀態(tài)；特殊設(shè)計(jì)的鐘罩邊緣橡膠密封圈,，可保證長(zhǎng)期使用不會(huì)出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現(xiàn) 象,；陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經(jīng)久耐用。GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀體積小,，操作簡(jiǎn)單,，適合用于實(shí)驗(yàn)室中對(duì)小樣品的鍍膜使用,。
| 產(chǎn)品名稱(chēng) | GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀 |
| 產(chǎn)品型號(hào) | GSL-1100X-SPC-16 |
| 安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ,，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用,。 1、水：不需要 2,、電： AC220V 50Hz,，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度 99.99%以上）,，需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥） 4,、工作臺(tái)： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，,承重 50kg 以上 5,、通風(fēng)裝置：不需要 |
| 主要特點(diǎn) | 1,、設(shè)有真空表、濺射電流表,，可實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài),。 2、通過(guò)調(diào)節(jié)濺射電流控制器,、微型真空氣閥,，控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電離氣體,，以獲得的鍍膜效果,。 3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計(jì),，可保證長(zhǎng)期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象,。 4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用,。 5、根據(jù)電場(chǎng)中氣體電離特性,，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶,，使濺射鍍層更均勻純凈。
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| 技術(shù)參數(shù) | 1,、電源： 220V 2,、總功率： <2000W （包括真空泵） 3、真空室： Ø160mm×120mm 4 ,、樣品臺(tái)： Ø50mm,，且高度可調(diào)， 可同時(shí)進(jìn)行 8 個(gè) SEM 樣品的鍍膜 5 ,、max 均勻鍍膜： Ø45mm |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸： 400mm×300mm×400mm,；重量： 30kg | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 金靶材 | 1 個(gè) |
| 2 | 進(jìn)氣針閥 | 1 個(gè) | |
| 3 | 保險(xiǎn)絲 | 2 個(gè) | |
| 可選配件 | 金,、銦、銀,、鉑等各種靶材 | ||