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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品簡(jiǎn)介： OTF-1200X-RTP-II 近距離蒸發(fā)鍍膜（CSS）爐是一款快速蒸發(fā)管式爐， 專門用于 PVD 或 CSS 法制作薄膜,； 其爐管外徑為 11″ ,，爐管內(nèi)載樣盤可放置 3″ 的圓形或 2″×2″的方形基片,； OTF-1200X-RTP-II 近距離蒸發(fā)鍍膜（ CSS ）爐加熱元件為兩組紅外燈管,， 分別安裝在腔體頂端和底部， 升溫速率高達(dá) 20℃/s ,，可迅速使?fàn)t腔內(nèi)溫度升高,； 冷卻速率： >10℃/s ，可在鍍膜后使樣品快速降溫,； 溫控系統(tǒng)采用 PID30 段程序化控制,， 控溫精度為±1℃， 并且儀器面板上帶有 RS485 接口,， 若儀表內(nèi)配有控溫軟件,， 就可將升 溫程序和曲線導(dǎo)出,。
產(chǎn)品名稱 | OTF-1200X-RTP-II 近距離蒸發(fā)鍍膜（CSS）爐 |
產(chǎn)品型號(hào) | OTF-1200X-RTP-II |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下,， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1,、水：設(shè)備需選配自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水） 2,、電： AC220V 50Hz（20A 空氣開關(guān)）,，必須有良好接地 3 、氣： 設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度 99.99%以上） ,，需自備氬氣氣瓶（自帶 ?6mm 雙卡套接 頭） 4,、工作臺(tái)：設(shè)備為落地式， 占地面積 1m2 以上 5,、通風(fēng)裝置：需要 |
主要特點(diǎn) | 1,、為了減小熱輻射和達(dá)到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷機(jī)構(gòu)上,。 |
2 ,、緊貼頂部加熱元件上裝有一氮化鋁基片（?76mm×0.5mm）,，使得樣品基片上的溫度更加 |
均勻,。 3 、3″的石墨坩堝可放于底部加熱元件上，用于盛放蒸發(fā)料,。 4 、真空法蘭通過兩個(gè)硅膠 O 型圈進(jìn)行密封,，通過機(jī)械泵其腔內(nèi)真空度可達(dá) 10-2torr ，通過分子 泵真空度可達(dá) 10-5torr,。 5,、兩個(gè)真空法蘭都可以通過手動(dòng)操作進(jìn)行上下移動(dòng),。 6、一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì)安裝在法蘭頂部,，可以精 確測(cè)量腔內(nèi)真空度,。 | |
技術(shù)參數(shù) | 1 、電源： 單相 AC208V-240V （需 20A 的空氣開關(guān)） 2,、真空腔體：高純石英管,， 外徑 280mm ,，內(nèi)徑 275mm ，高 229mm |
3,、加熱元件： 兩組 IR 紅外燈管,， 額定功率 800W ,，總功率 1600W 4,、熱電偶： S 型熱電偶 2 個(gè),，分別安裝于上下法蘭上 5、工作溫度：兩個(gè)加熱區(qū)域單獨(dú)工作的極限溫度≤650℃，兩加熱區(qū)域極限溫差≤350℃ 6,、加熱速率： >8℃/s 7、冷卻速率： >10℃/s（600℃-100℃） 8、真空法蘭： 316 不銹鋼制作,， 配有 1 個(gè) KF-25 接口,、 2 個(gè) 1/4″軟管接頭 9、真空計(jì)：數(shù)字式真空顯示計(jì) | |
可選配件 | 1 ,、PC 控溫軟件 2,、兩路混氣系統(tǒng) |
3、多路浮子混氣系統(tǒng) 4,、多路質(zhì)子混氣系統(tǒng) 5,、真空泵 6、水冷機(jī) |