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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
產(chǎn)品簡介： GSL-1800X-ZF4 蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀,， 特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜 （如 Ti ,、Al 、Au 等） 和小分子的有機物,。 本機設(shè)有 4 個蒸鍍加熱舟,， 每個加熱舟都可獨立進行蒸鍍， 加 熱舟上方有一個可旋轉(zhuǎn)擋板,， 當其中一個加熱舟進行蒸鍍時擋板將其它三個鎢舟遮住,， 以防蒸鍍材料之間 相互污染。若更改部分配置也可實現(xiàn)對有機材料的蒸發(fā)鍍膜,， 可滿足發(fā)光器件及有機太陽能電池方面的研 究要求,，是一款鍍膜效果理想且性價比較高的實驗設(shè)備。GSL-1800X-ZF4 蒸發(fā)鍍膜儀腔底部配有 5 個水冷 電極,， 在工作過程中可有效保護電極溫度不會因溫度過高而熔化,， 進而損壞電極。該機采用金屬腔室,， 具 有的真空度,，真空度可達到 5.0×10-7torr ，樣品臺可對樣品進行加熱，加熱溫度為室溫-500℃ ,，是進行 高真空蒸發(fā)鍍膜的設(shè)備,。
產(chǎn)品名稱 | GSL-1800X-ZF4 蒸發(fā)鍍膜儀 |
產(chǎn)品型號 | GSL-1800X-ZF4 |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃,， 濕度 55%Rh±10%Rh 下使用,。 1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機（加注純凈水或者去離子水） 2,、電： AC220V 50Hz,，必須有良好接地 3、工作臺：落地式,， 占地面積 2m2 以上,。 |
4、通風(fēng)裝置：需要 | |
主要特點 | 1,、真空控制單元全部集合在一個控制盒內(nèi),。 2、采用獨立的蒸鍍電流控制器,，操作方便快捷,。 3、真空腔體設(shè)有 1 個 KF40 旁抽閥（直接與前級機械泵相連,，提高效率）,、 1 個 CF150 閘板閥 |
（直接與分子泵相連） 、1 個 KF16 法蘭（安裝電阻規(guī)） ,、6 個 CF35 法蘭（ 1 個安裝電離規(guī),， 1 個安裝 2 芯電極， 1 個安裝膜厚儀） 3 個備用,。 4,、在腔體底部配有 5 個水冷電極， 可支持 4 個蒸鍍加熱舟,。 | |
5,、樣品臺安裝在腔體的頂部。 6,、腔內(nèi)可裝高分辨率的薄膜測厚儀,， 膜厚測量分辨率（鋁） 為0.1?。 7,、可使用循環(huán)水冷機,。 | |
技術(shù)參數(shù) | 1、輸入： 單相 AC220V,，50Hz/60Hz,，功率<2.16KW （不含真空泵） 2,、蒸發(fā)輸出： 電壓 AC 0-8V 連續(xù)可調(diào)，極限蒸發(fā)電流 200A,，極限蒸發(fā)功率<1.6KW |
3,、真空腔： ?300mm （內(nèi)徑）× 400mm，不銹鋼,，內(nèi)壁經(jīng)電拋光處理 4,、觀察窗： ?100mm，采用專用密封圈密封 5,、真空泵：高抽速渦輪分子泵,， 抽速600L/s 6、真空度： 8.0x10-4Pa | |
7,、極限真空 8.0x10-5Pa 8,、漏率： 6.7×10-8Pa ·L/S 9,、樣品臺：φ 120 10,、蒸發(fā)舟與樣品臺間距： 150-210mm 11、冷卻水需量： 15L/min | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸： 900mm×1100mm×1800mm,；重量： 230kg |