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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品簡(jiǎn)介： VTC-16-3HD 3 靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀（直流普通型） ，控制面板采 用觸摸屏模式,， 基片極限尺寸為 2″ ,，放置樣品的直徑為 ?50mm ，加熱溫度達(dá) 500℃,。 VTC-16-3HD 3 靶等 離子濺射儀可濺射金,、銀、銅三種靶材,， 不可以濺射輕金屬和碳,。本機(jī)采用旋轉(zhuǎn)式樣品臺(tái)， 能夠依次在同 一樣品上涂覆三層薄膜， 適用于實(shí)驗(yàn)室制備復(fù)膜的樣品,。 VTC-16-3HD 3 靶等離子濺射儀采用 PLC 控制面 板對(duì)設(shè)備進(jìn)行控制,， 操作方便直觀。該機(jī)設(shè)備小巧,， 占用實(shí)驗(yàn)室空間少,， 操作簡(jiǎn)單， 應(yīng)用廣泛,。因此被廣 泛應(yīng)用于各大高校及科研院所的實(shí)驗(yàn)室中,。
產(chǎn)品名稱 | VTC-16-3HD 3 靶等離子濺射儀 |
產(chǎn)品型號(hào) | VTC-16-3HD 3 |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃,， 濕度 55%Rh±10%Rh 下使用,。 1、水：不需要 2,、電： AC220V 50Hz,，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度 99.99%以上）清洗,，需自備氬氣氣瓶 4,、工作臺(tái)： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kg 以上 5,、通風(fēng)裝置：需要 |
主要特點(diǎn) | 1 ,、PLC 控制面板， 4.3″觸摸屏,， PID 控溫方式,。 2、可控參數(shù)包括真空度,、電流,、靶材位置、基片加熱溫度,。 |
3,、可與真空泵、 不銹鋼波紋管 KFD25 快速卸裝卡箍連用,。 4 ,、已通過(guò) CE 認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 1,、輸入功率： 110V/220V 通用 2000W （含真空泵） 2,、輸出功率： 1600VDC 50mA（max 電流） |
3、石英罩： ?160mm×120mm 4,、樣品臺(tái)： ?50mm （可選購(gòu)加熱型樣品臺(tái),，極限溫度可到500℃,； 極限濺射時(shí)間不可超過(guò)5min） 5、真空泵： 120L/M 旋片式真空泵 6,、進(jìn)氣口：裝有精密可調(diào)針閥,，以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量 7、靶材：尺寸直徑 ?47mm ,，厚度 0.5mm-3mm；可濺射 Au ,、Ag ,、Pt 、Cr ,、Ni,，不可濺射氧 化物、半導(dǎo)體,、一些輕金屬,、 Al 、Zn ,、C 等 | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸： 360mm ×350mm×3600mm,；重量： 50kg |
可選配件 | 1 、KF25 真空接口,、卡箍 2,、不銹鋼波紋管（600mm） 3、旋片式真空泵（ 120L/M） 4,、鉑,、銀、鋅等各種高純度金屬靶材 5,、加熱型樣品臺(tái) |