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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
SE-i光譜橢偏儀產(chǎn)品簡(jiǎn)介：光譜橢偏儀SE-Vi是一款集成式原位光譜橢偏儀,，針對(duì)有機(jī)/無機(jī)鍍膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測(cè)中的定制化開發(fā),，快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析
詳細(xì)介紹
SE-i 光譜橢偏儀
產(chǎn)品簡(jiǎn)介： 光譜橢偏儀 SE-Vi 是一款集成式原位光譜橢偏儀，針對(duì)有機(jī)/無機(jī)鍍膜工藝研究 的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測(cè)中的定制化開發(fā),，快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析,。光譜橢 偏儀廣泛應(yīng)用于金屬薄膜、有機(jī)薄膜,、無機(jī)薄膜的物理/化學(xué)氣相沉積,， ALD 沉積等光學(xué)薄 膜工藝過程中實(shí)際原位在線監(jiān)測(cè)并實(shí)時(shí)反饋測(cè)量物性數(shù)據(jù)。
產(chǎn)品型號(hào) | SE-i 光譜橢偏儀 |
技術(shù)參數(shù) | 1,、自動(dòng)化程度：固定變角 2,、應(yīng)用定位：原位定制型 3、基本功能： Psi/Delta,、N/C/S 等光譜 4,、分析光譜： 380-1000nm，支持按需定制化 5,、單次測(cè)量時(shí)間： 0.5-5s 6,、重復(fù)性測(cè)量精度： 0.01nm 7、入射角范圍： 65°（支持定制） |