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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品簡介： EQ-TM106 膜厚監(jiān)測(cè)儀是采用石英晶體振蕩原理， 結(jié)合的頻率測(cè)量技術(shù),， 進(jìn)行膜厚的在線 監(jiān)測(cè),。主要應(yīng)用于 MBE 、OLED 熱蒸發(fā),、磁控濺射等設(shè)備的薄膜制備過程中,，用于對(duì)膜層厚度及鍍膜速率 進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。 EQ-TM106 膜厚監(jiān)測(cè)儀根據(jù)制備薄膜的實(shí)時(shí)速率可以輸出 PWM （脈沖寬度調(diào)制） 模擬量,， 作為膜厚傳感器使用， 與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制,，從而檢測(cè)所制備薄膜的厚度,。 EQ-TM106 膜厚監(jiān)測(cè)儀體積小巧可節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間， 原理簡單,， 操作方便,， 尤其適合于實(shí)驗(yàn)室中薄膜制備 過程的使用。
產(chǎn)品名稱 | EQ-TM106 膜厚監(jiān)測(cè)儀 |
產(chǎn)品型號(hào) | EQ-TM106 |
主要特點(diǎn) | 1 ,、本機(jī)可與計(jì)算機(jī)連接,。 2、顯示儀具有界面簡潔,、直觀,、合理、操作方便快捷等優(yōu)點(diǎn),，可直觀顯示所測(cè)的膜厚,、速率、 頻率,、 PWM 控制輸出的百分比等工作狀態(tài),。 3,、通過軟件或顯示儀可對(duì)門控時(shí)間、輸出方式,、速率算法,、材料參數(shù)、輸出量程及通訊參數(shù) 等進(jìn)行設(shè)置,， 并可將所測(cè)相關(guān)數(shù)據(jù)寫入 Excel 文件,。 4、具有體積超小,、測(cè)量精度高,、操作簡單、使用方便等優(yōu)點(diǎn),。 |
技術(shù)參數(shù) | EQ-TM106-1 監(jiān)測(cè)組件 1,、電源： DC 5V（±10%），電流 400mA 2,、頻率分辨率： ±0.03Hz 3,、膜厚分辨率： 0.0136? （鋁） |
4、膜厚準(zhǔn)確度： ±0.5%,，取決于過程條件,，特別是傳感器的位置，材料應(yīng)力,，溫度和密度 5,、測(cè)量速度： 100ms-1s/次，可設(shè)置 6,、測(cè)量范圍： 500000? （鋁） 7,、標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體： 6MHz 8 、計(jì)算機(jī)接口： RS-232/485 串行接口（波特率 1200 ,、2400 ,、4800 、9600 ,、19200 ,、38400 可 設(shè)置，數(shù)據(jù)位： 8,，停止位： 1,，校驗(yàn)：無） 9、模擬輸出： 8 比特分辨率,， PWM 脈寬調(diào)制輸出（集電極開路或內(nèi)部 5V 輸出） 10,、工作環(huán)境： 溫度 0-50℃， 濕度 5%-85%RH,，不得有冷凝水珠 11,、外形尺寸： 90mm×50mm×18mm | |
EQ-TM106-2 顯示儀 1,、輸入電源： AC 220V±10% 2、輸出電源： DC 5V 3A | |
3,、顯示器： 12×2 數(shù)碼管與 LED 4,、通訊端口： RS-485（波特率 1200 、2400 ,、4800 ,、9600 、19200 ,、38400 可設(shè)置,，數(shù)據(jù)位： 8 位，停止位： 1 位,，奇偶校驗(yàn)：無） 5,、外形尺寸： 182mm×65mm×160mm | |
EQ-TM106-3 探頭 1、適用晶片頻率： 6MHz | |
2,、適用晶片尺寸： ?14mm 3,、安裝法蘭： CF35 4、冷卻水管： ?3mm ,，長度 300mm ,、500mm 、1000mm 5,、冷卻水壓： <0.3MPa 6,、氣動(dòng)擋板路管： ?3mm 7、壓縮空氣壓力： <0.8MPa ,，>0.5MPa |
8,、烘烤溫度：通水狀態(tài)<200℃，不通水狀態(tài)法蘭<100℃ 9,、電氣接口： BCN 插座 | |||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | EQ-TM106-1 監(jiān)測(cè)組件 | 1 個(gè) |
2 | EQ-TM106-2 顯示儀 | 1 臺(tái) | |
3 | EQ-TM106-3 探頭 | 1 個(gè) | |