產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品簡(jiǎn)介: 精密液體氣相發(fā)生器是針對(duì)實(shí)驗(yàn)室 CVD 實(shí)驗(yàn)中導(dǎo)入液體的系統(tǒng),,其液體流量是通過數(shù)字液體泵 來控制,, 流量為 80ml/min ,精確度為 0.005ml,。液體被蠕動(dòng)泵導(dǎo)入到混氣系統(tǒng)后,,被系統(tǒng)里的加熱裝
置加熱成蒸汽,, 然后隨導(dǎo)入的氣體被帶入到爐管中。本機(jī)能夠?qū)С龆喾N液體,, 如 ETOH ,、SnCl4 、 TiCl4R,、
SiHCl3 和 Zn(C2H5)2,,以及多種有機(jī)物混合。對(duì)于研究用 CVD 方法生長(zhǎng)納米線和薄膜是的研究設(shè)備,。
產(chǎn)品型號(hào) | 精密液體氣相發(fā)生器 |
主要特點(diǎn) | 1 ,、流體和氣體在一個(gè) 316 不銹鋼罐中加熱。 |
2 ,、采用 30 段程序化控溫,。 3 、氣體流速通過浮子流量計(jì)控制,。 4 ,、配有壓力表,可測(cè)出液氣混合罐中的氣體壓強(qiáng),。 5 ,、配有兩個(gè)不銹鋼針閥,以控制氣體進(jìn)出,。 6 ,、可與本司所有管式爐和 CVD 系統(tǒng)相連接。 | |
7 ,、已通過 CE 認(rèn)證,。 | |
技術(shù)參數(shù) | 1 、電源: 單相 AC208V-240V 50Hz/60Hz 2,、功率: 1000W 3,、蠕動(dòng)泵:精確度±0.02%FS ,流量 0-80ml/min (可調(diào)) 4,、工作溫度: 300℃ |
5 ,、控溫精度:±1℃ 6,、浮子流量計(jì): 0-2000ml/min (可調(diào)) 7,、出氣口: 外徑 1/4″ | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸: 350mm×335mm×300mm;重量: 5kg |
可選配件 | 加熱帶(纏繞在外接的管道上,,以保證液體蒸汽在傳輸過程中不會(huì)液化,。) |