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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品簡(jiǎn)介： 混氣系統(tǒng) 3 路質(zhì)子 GSL-3Z 是用于控制一種到三種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐,， 這種氣體控 制系統(tǒng)安裝在移動(dòng)架內(nèi),， 管式爐可以放在移動(dòng)架上面， 氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的 調(diào)節(jié)閥,，可以用于 CVD 系統(tǒng)及退火爐,，用來(lái)研究氣體環(huán)境對(duì)材料的影響，在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè),、特種 材料學(xué)科,、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè),、醫(yī)藥,、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用， 廣泛應(yīng) 用于電子工藝設(shè)備,， 如擴(kuò)散,、氧化、外延,、 CVD,、等離子濺射以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉,、混氣配氣系統(tǒng)及 其它分析儀器,。
產(chǎn)品型號(hào) | 混氣系統(tǒng) 3 路質(zhì)子 GSL-3Z |
主要特點(diǎn) | 精度高，運(yùn)行穩(wěn)定可靠,，工作壓力范圍寬,，可在高壓或真空條件下工作，且操作使用方便,。 |
技術(shù)參數(shù) | 1,、電源： 185-245V 50Hz 2、輸出功率： 18W 3 ,、 控 制 范 圍 ： 控 制 器 1——0-100SCCM ,、 控 制 器 2——1-199SCCM 、 控 制 器 3——1-499SCCM 5,、準(zhǔn)確度：± 1%FS 6,、線性：±0.5-1.5% 7,、重復(fù)精度：±0.2%FS 8、響應(yīng)時(shí)間： 氣特性 1-4s ,，電特性 10s 針閥： 316 不銹鋼 |
9,、工作壓差范圍： 0.1-0.5 MPa | |
10、壓力表測(cè)量范圍： -0.1-0.15MPa（0.01 MPa/grid） | |
11,、混氣罐： ?80mm×120mm 12,、截止閥： ?1/4″ ，316 不銹鋼針閥 | |
13,、工作溫度： 5-45℃ | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸： 600mm×600mm×650mm |