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產(chǎn)品型號

生長納米線 CVD 爐 OTF-1200X-4-NW

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ,，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用,。

1、水：不需要

2,、電： AC220V 50Hz,，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體,，需自備氣瓶氣源

4,、工作臺： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 150kg 以上

5,、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1 ,、由 OTF-1200X-4 單溫區(qū)爐演變而來的緊湊型 CVD 爐。

2 ,、內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層,，可以提高設(shè)備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。

3 ,、帶樣品支架的右法蘭是滑動的,，方便樣品的快速取放。

4 ,、左側(cè)的小加熱器可對輸入 CVD 爐的氣體,、液體、固體或混合物進(jìn)行預(yù)加熱,，不銹鋼加熱腔 外徑 30mm ,、長 150mm ，工作溫度 600℃,。

5 ,、左邊法蘭（在加熱器與 CVD 爐之間） 裝有 4 個(gè) 1/4″卡套連結(jié)的通氣管，具有密封和氣體通 道的作用,。

6 ,、PID 自整定數(shù)字控制器 ，可以設(shè)置 30 段升降溫程序,。

7,、選配相關(guān)軟件可用計(jì)算機(jī)進(jìn)行控溫。

8 ,、已通過 CE 認(rèn)證,。

技術(shù)參數(shù)

1 、額定電壓： 單相 AC 220V    50Hz/60Hz

2,、額定功率： 3KW（需 20A 的空氣開關(guān)）

3,、石英管： 外管外徑 ?110mm ,，內(nèi)徑 ?102mm ，長 381mm

4,、加熱區(qū)域： CVD 爐 400mm ,，加熱器 150mm

5 、工作溫度： CVD 爐 1100℃（<2h）,，連續(xù)工作 200℃-1000℃,， 升降溫速率 10℃ /min；

加熱器連續(xù)工作 0-500℃,， 升降溫速率 10℃/min

6 ,、控溫精度：±1℃

7、熱電偶： K 型

8,、右法蘭：一個(gè) 3″石英樣品支架,， 與石英擋板、法蘭連成一體,， 設(shè)有 KF25 真空快接口,， 以 及水冷接口（可選配水冷機(jī)， 避免 O 型圈融化）

9,、左法蘭： 有 2 個(gè)獨(dú)立 1/4″口,，可單獨(dú)將任何氣體通入爐內(nèi)，一路 1/4″口將預(yù)熱氣體通入 CVD 爐,，一路 1/4″口將不加熱的氣體通入爐內(nèi),，并通過爐內(nèi)的 T 型結(jié)構(gòu)與加熱氣體匯合

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 1200mm×450mm×510mm；重量： 100kg

可選配件

1,、水冷機(jī)

2,、控溫軟件