產(chǎn)品型號(hào)

高真空三溫區(qū) CVD 系統(tǒng) OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下,， 溫度 25℃±15℃ ,，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1,、水：不需要

2,、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3,、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源

4,、工作臺(tái)： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ,，承重 150kg 以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1,、爐體采用雙層殼體結(jié)構(gòu),，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使得殼體表面的溫度<60℃,。

2,、保溫材料采用高純氧化鋁纖維，減少熱量損失,，且內(nèi)膛涂有高溫氧化鋁涂層,，可提高加熱 效率，延長使用壽命,。

3,、設(shè)有三個(gè)溫區(qū)，可獨(dú)立控溫,， 可設(shè)置 50 段升降溫程序,，并設(shè)有過熱和斷偶保護(hù)。

4,、供氣系統(tǒng)與真空機(jī)組置于移動(dòng)架內(nèi),，方便移動(dòng)。

5,、真空系統(tǒng)采用一鍵操作,，按下“start" 鍵后隔膜泵和渦輪分子泵將會(huì)啟動(dòng) （隔膜泵先啟動(dòng)，

待真空度達(dá)到 10-2mbar 后分子泵自動(dòng)啟動(dòng)）,。

6,、根據(jù)腔體內(nèi)的真空度，系統(tǒng)自動(dòng)控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率。

7 ,、已通過 CE 認(rèn)證,。

技術(shù)參數(shù)

管式爐

1、電源： AC 208V-240V 單相  50Hz/60Hz    7KW

2,、爐管：高純石英管,， 外徑 ?100mm×內(nèi)徑 ?92mm×1400mm

3、加熱元件： 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲,，表面涂有氧化鋯

4,、加熱區(qū)：  溫區(qū) I 長 220mm ，溫區(qū) II 長 440mm ,，溫度 III 長 220mm ,，總長 880mm

5、恒溫區(qū)： 500mm  （三個(gè)溫區(qū)設(shè)為同一溫度時(shí)）

6,、工作溫度：  1200℃,， 連續(xù)工作 1100℃

7、升溫速率：≤20℃/min

8,、控溫精度：± 1℃

9,、熱電偶： 3 根 K 型熱電偶

高真空機(jī)組

1、輸入電源： AC110V 或 AC220V 可切換  50Hz/60Hz

2,、消耗功率： 110W

3,、殼體尺寸： 600mm×600mm×700mm

4、承重量： 270kg

5,、抽氣速率： N2-33L/s ,，He-39L/s ，H2-32L/s

6,、工作范圍： 1000mbar-<10-7mbar

7,、極限真空度： 10-5torr

8、數(shù)字式真空顯示計(jì)： 10-8mbar-103mbar

質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)

1,、質(zhì)量流量計(jì)： 9 通道精密質(zhì)量流量計(jì)

2,、流量計(jì)范圍： 10sccm-1000sccm 三個(gè)， 20sccm-200sccm 三個(gè),， 30sccm-10sccm 三個(gè)

3,、壓力表： 3 個(gè)，用來檢測混合氣體壓力

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 爐體 550mm×380mm×520mm ,，高真空機(jī)組 600mm×600mm×700mm,，質(zhì)量流量混

氣系統(tǒng) 600mm×600mm×700mm

重量： 100kg

真空配件

1

不銹鋼真空密封法蘭

2 個(gè)

2

精密針閥

2 個(gè)

3

1/4″軟管接頭

1 個(gè)

4

高溫硅膠 O 型密封圈（可承受 300 ℃）

6 個(gè)

5

氧化鋁管堵

1 套

6

KF-40 真空波紋管

1 根

7

KF-40 快速卡箍

3 個(gè)

8

KF-25 卡箍

2 個(gè)

可選配件

防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)