產(chǎn)品型號(hào)

高真空 CVD 系統(tǒng) OTF-1200X-80-C2HV

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下,， 溫度 25℃±15℃ ,，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2,、電： AC220V 50Hz,，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體,，需自備氣瓶氣源

4,、工作臺(tái)： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 150kg 以上

5,、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1,、雙層殼體，配有風(fēng)冷系統(tǒng),，殼體溫度<60℃,。

2 、內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層,，可以提高反射率和保護(hù)爐膛潔凈度,。

3 、采用 PID 控制器,， 可以設(shè)置 30 段升降溫程序,。

4 、質(zhì)量流量系統(tǒng)采用 316 不銹鋼制作而成,。

5 ,、已通過 CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

管式爐

1 ,、電源： AC 220V    50Hz/60Hz

2,、石英管： 外徑 ?80mm ，內(nèi)徑 ?75mm ,，長(zhǎng) 1000mm

3,、加熱元件： 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲（表面涂有氧化鋯）

4、加熱區(qū)域： 440mm

5,、恒溫區(qū)域： 150mm

6 ,、工作溫度：  1200℃ ，連續(xù)工作 1100℃

7,、升降溫速率： 20℃/min

8,、控溫精度：± 1℃

9、熱電偶： K 型

高真空機(jī)組

1,、殼體： 600mm×600mm×700mm ,，承重 275kg

2、真空泵： 德國(guó) Pfeiffer 真空泵

3,、顯示屏： LCD 數(shù)字顯示

4,、抽氣速率： N2-33L/s ,，He-39L/s ，H2-32L/s

5,、工作范圍： 1000mtorr-10-7mtorr

6,、極限： 10-8mtorr  （無泄漏）

質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)

1、電源： 單相 AC208V-240V    50Hz/60Hz

2,、功率： 18W

3,、尺寸： 600mm×600mm×700mm

4、混氣箱： ?80mm×120mm