目錄:北京鴻瑞正達(dá)科技有限公司>>薄膜材料生長成套設(shè)備>> 1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV
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更新時(shí)間:2024-03-12 17:14:14瀏覽次數(shù):324評(píng)價(jià)
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產(chǎn)品簡介: 1700℃單溫區(qū)三通道混氣 CVD 系統(tǒng) GSL-1700X-F3LV 是由單溫區(qū)管式爐、三路浮子混氣系統(tǒng) 和雙旋片式真空泵組成,,工作溫度可達(dá) 1700℃ ,,混氣系統(tǒng)可以對(duì)三種氣體進(jìn)行精確的混氣,,真空度可 達(dá) 5 ×10-2 torr,。
產(chǎn)品型號(hào) | 1700℃單溫區(qū)三通道混氣 CVD 系統(tǒng) GSL-1700X-F3LV |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25℃±15℃ ,,濕度 55%Rh±10%Rh 下使用,。 1、水:不需要 2,、電: AC220V 50Hz,,必須有良好接地 3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體,,需自備氣瓶氣源 4,、工作臺(tái): 尺寸 1600mm×600mm×700mm ,,承重 150kg 以上 5、通風(fēng)裝置:需要 |
主要特點(diǎn) | 1,、雙層殼體,,配有風(fēng)冷系統(tǒng),殼體溫度<55℃,。 2,、采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,有效減少能量損失,。 3 ,、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層,可以提高加熱效率和延長使用壽命,。 4 ,、采用 PID 控制器 ,可以設(shè)置 30 段升降溫程序,,并設(shè)有過熱和斷偶保護(hù)功能,。 |
5 、已通過 CE 認(rèn)證,。 |
技術(shù)參數(shù) | 管式爐 1 ,、電源: 單相 AC 208V-240V 50Hz/60Hz 5KW 2、爐管: 99.8%高純氧化鋁陶瓷管,, 外徑 ?80mm ,,內(nèi)徑 ?72mm ,長 1000mm 3,、加熱元件: 1800℃級(jí)硅鉬棒 8 根 4,、加熱區(qū)域: 457mm 5、恒溫區(qū)域: 150mm 6 ,、工作溫度: 1700℃ 7,、升降溫速率: 5℃/min 8、控溫精度:± 1℃ 9,、真空度: 5×10-2 torr 10,、泄漏率: 6mtorr/min |
真空系統(tǒng) 1、真空泵:雙旋片機(jī)械泵 2,、可達(dá)真空度: 5×10-2 torr 3,、法蘭:不銹鋼密封法蘭 4、針閥: 2 個(gè)不銹鋼針閥 | |
5,、真空泵接口: KF-25 6,、軟管接頭: 1/4″ 7、真空顯示計(jì): LED 數(shù)字式真空顯示計(jì),, 測量范圍 0.1mtorr-850torr | |
浮子流量混氣系統(tǒng) 1,、浮子流量計(jì): 3 個(gè),, 精確度 4%FS 2、流量計(jì)范圍: 10cc/min-100cc/min ,,16cc/min-160cc/min ,,25cc/min-250cc/min 3、壓力表: 1 個(gè),,監(jiān)測混合氣體壓力 |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:管式爐 550mm×500mm×700mm,,混氣系統(tǒng) 600mm×600mm×700mm,真空機(jī)組 600mm× 600mm×700mm |
重量: 210kg | |
可選配件 | 防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì) |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)