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產(chǎn)品型號

1200℃雙溫立式爐 OTF-1200X-4-VT-II

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下，溫度 25℃±15℃ ,，濕度55%Rh±10%Rh 下使用,。

1、水：不需要

2,、電：AC220V 50Hz,，必須有良好接地

3 、氣：如作為 CVD 系統(tǒng)使用,，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭,，可自費改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺： 尺寸 600mm×600mm×700mm ,，承重100kg 以上

5,、通風(fēng)裝置：需要

主要特點

1、雙層殼體結(jié)構(gòu),，帶有風(fēng)冷系統(tǒng),，殼體表面溫度<60℃,。

2、開啟式爐體更方便于爐管的更換,。

3,、采用高純氧化鋁作為爐膛材料，其表面涂有美國進(jìn)口 1750℃氧化鋁涂層,， 可以提高加熱效 率,，同時延長使用壽命。

4 ,、采用 PID 方式進(jìn)行溫度調(diào)節(jié),，可設(shè)置30 段升降溫程序。

5,、爐管兩端裝有不銹鋼密封法蘭,、真空計、閥門,。

6,、上端密封法蘭內(nèi)部焊有不銹鋼勾，用于懸掛樣品,。

7,、國家，并已通過 CE 認(rèn)證,。

技術(shù)參數(shù)

1 、電源： AC 208V-240V    50Hz/60Hz

2,、功率： 3KW

3,、石英管：外徑 Ø100mm ，內(nèi)徑 Ø95mm ,，長 1000mm

4,、加熱元件： 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯,，可延長期使用壽命

5,、加熱區(qū)域：總長 400mm ，溫區(qū) I 為 200mm ,，溫區(qū) II 為 200mm （兩個溫區(qū)可設(shè)置同樣的溫 度）

6,、恒溫區(qū)域：300mm

7、工作溫度：每個溫區(qū) 1200℃（<1h）,，連續(xù)工作 1100℃

8,、加熱速率：≤20℃/min

9、控溫精度：± 1℃

10,、熱電偶：K 型熱電偶進(jìn)行測溫

11,、真空度：10-2torr （機(jī)械泵）,，10-5torr  （分子泵）

12、漏氣率：<5mtorr/min

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：不含移動架 550mm×380mm×520mm ,，含移動架 600mm×600mm×1200mm

重量：80kg （不含移動架）

可選配件

1,、鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm

2、防腐型數(shù)字式真空顯示計

3 ,、KF25 轉(zhuǎn)接頭（可增加抽氣速率,，獲得較高的真空）

4 、VCR 雙卡套接頭（可工作在惰性氣體或還原氣體條件下）

5,、高溫絲（摻鉬鐵鉻鋁,，可達(dá) 1100℃）

注意事項

1 、爐管內(nèi)的正壓不可高于0.02Mpa,。

2,、由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時,，氣瓶上必須安裝減壓閥,。建議在本司選購減壓閥。本司減壓閥量程為 0.01Mpa-0.1Mpa,，使用時會更加精確安全,。

3、當(dāng)爐體溫度高于 1000℃時,， 爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),， 爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài),。

4 ,、進(jìn)入爐管的氣體流量需小于 200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊,。

5,、石英管的長時間使用溫度<1100℃。

6,、對于樣品加熱的實驗,，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對 樣品加熱,， 則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),， 若氣壓表示數(shù)大于 0.02MPa，必須立刻打開泄氣 閥,，以防意外發(fā)生（如爐管破裂,、法蘭飛出等）。

質(zhì)量認(rèn)證

1 ,、CE 認(rèn)證,。

2,、所有電器元件（>24V）都通過 UL 、MET ,、CSA 認(rèn)證,。

3、若用戶承擔(dān)認(rèn)證費用,， 本司保證單臺設(shè)備通過德國 TIV 認(rèn)證或 CAS 認(rèn)證,。

樣品淬火