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產(chǎn)品型號

SGC-10 薄膜測厚儀

主要特點

1,、非接觸式測量,，用光纖探頭來接收反射光,，不會破壞和污染薄膜,；      

2、測量速度快,，測量時間為秒的量級,；                                

3,、可用來測薄膜厚度， 也可用來測量薄膜的折射率 n 和消光吸收k,；     

4,、可測單層薄膜，還可測多層膜系,；                                  

5,、可廣泛應(yīng)用于各種介質(zhì)，半導(dǎo)體,，液晶等透明半透明薄膜材料,；        

6、軟件的材料庫中整合了大量材料的折射率和消光系數(shù),，可供用戶參考,；  

7、內(nèi)嵌微型光纖光譜儀,，結(jié)構(gòu)緊湊, 光纖光譜儀也可單獨使用,。           

8、強大的軟件功能： 界面友好,，操作簡便,，用戶點擊幾下鼠標(biāo)就可以完成 測量。便捷快速的保存,、讀取測量得到的反射譜數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)處理功能強大,，可 同時測量多達(dá)四層的薄膜的反射率數(shù)據(jù)。一次測量即可得到四層薄膜分別的 厚度和光學(xué)常數(shù)等數(shù)據(jù),。材料庫中包含了大量常規(guī)的材料的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù),。 用戶可以非常方便地自行擴充材料數(shù)據(jù)庫。                             

9,、儀器具有開放性設(shè)計,，儀器的光纖探頭可很方便地取出，通過儀器附帶 的光纖適配器 （如圖所示） 連接到帶 C-mount 適用于微區(qū)（>10 μm,，與顯微 鏡放大率有關(guān)） 薄膜厚度的顯微鏡 （顯微鏡需另配） ,，就可以使本測量儀測 量。                                                               

技術(shù)參數(shù)

1,、厚度范圍：  20nm-50um （只測膜厚）,， 100nm-25um  （同時測量膜厚 和光學(xué)常數(shù) n ，k）,，根據(jù)薄膜材料的種類,，其范圍有所不同。

2,、準(zhǔn)確度：    <1nm 或<0.5%

3,、重復(fù)性：    0.1nm

4,、波長范圍：  380nm-1000nm

5、可測層數(shù)：  1-4 層

6,、樣品尺寸：  樣品鍍膜區(qū)直徑>1.2mm

7,、測量速度：  5s-60s

8、光斑直徑：  1.2mm-10mm 可調(diào)

9,、樣品臺：  290mm*160mm

10,、光源：  長壽命溴鎢燈（2000h）

11、光纖：  純石英寬光譜光纖

12,、探測器：  進(jìn)口光纖光譜儀

13,、電源： AC110V-240V ，50HZ-60HZ

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 300mm*300mm*350mm,，重量： 18kg