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美國Kimball Physics高能電子槍系統(tǒng)EGH-8103 EGPS-8103特點

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美國Kimball Physics高能電子槍系統(tǒng)EGH-8103 EGPS-8103特點

EGH-8103.jpg

特點：

可聚焦,、高能電子束,，小光斑尺寸選項可達 60 μm

10 keV 至 100 keV

應(yīng)用：

  • 一般真空物理學(xué)

  • 輻射研究

  • 地表轟炸

  • 半導(dǎo)體研究

  • 生物標本照射

  • X 射線生成

  • 血漿激發(fā)

  • 熒光研究

  • 表面物理研究

功能/選項：

  • 小光斑尺寸低至 60 μm

  • 光束電流高達 1 mA

  • 靜磁聚焦

  • 靜磁偏轉(zhuǎn)

  • 磁性透鏡

  • 脈沖能力

  • 運行期間的內(nèi)部對準

  • 用戶可更換的點火裝置

  • 電腦 / 遙控器

  • 差速泵送

能量范圍：10 keV 至 100 keV
光束電流/光斑尺寸：
標準：10 nA 至 100 μA / 標準：60 μm 至 10 mm
大電流：10 nA 至 1 mA / 大電流：500 μm 至 10 mm
安裝：6.0“ CF 安裝

Kimball Physics EGH-8103 電子槍及其匹配的 EGPS-8103 電源是一個完整的子系統(tǒng),，可以連接到用戶的真空系統(tǒng)并打開,。它可以在非常廣泛的能量,、電流和功率范圍內(nèi)傳遞電子,。EGH-8103 可用于空間材料測試、輻射研究,、半導(dǎo)體研究,、X 射線產(chǎn)生和等離子體激發(fā)。

該槍使用難熔金屬或六硼化鑭 （LaB6） 陰極產(chǎn)生高能,、可聚焦的小光斑電子束,。束流能量和束流都可以在很寬的范圍內(nèi)獨立調(diào)節(jié);能量從 10 keV 到 100 keV，電流從 10 nA 到 1 mA。電子束可以通過控制網(wǎng)格的輸入信號進行脈沖傳輸,。

該噴槍有可調(diào)節(jié)的陰極饋通組件,，允許點火裝置相對于陽極和色譜柱進行機械對準。這種對準可以在噴槍在光束打開的情況下運行時實時完成,。

噴槍設(shè)計為源區(qū)域提供差動泵送,，源室上有一個 4.5 英寸 CF 法蘭，用于連接渦輪分子泵,。有三個 2.75 英寸 CF 法蘭,，用于電離計和其他選項。該噴槍通常安裝在 6.0 英寸的 CF 法蘭上,，插入長度為零,，即不會延伸到真空室中。


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