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Osakavacuum渦輪分子泵TGkine3300M-B / 3400M-B資料

時間：2024/5/8閱讀：518
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  • 將電源控制器與分子泵一體化

  • 省電設(shè)計

  • 輕巧設(shè)計

  • 對應(yīng)防護等級IP54

  • 多種通信接口

  • 對應(yīng)國際規(guī)格
    CE/NRTL/SEMI-S2

  • 繼承了TG-M的特點


用途

半導(dǎo)體制造設(shè)備

FPD制造設(shè)備

太陽能電池制造設(shè)備

玻璃/鏡片等光學(xué)元件加工

薄膜加工

加速器/宇宙環(huán)境模擬設(shè)備

OSAKA磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵 TGkine-B系列使用磁懸浮軸承實現(xiàn)無油的排氣，而且維護周期長,。提供排氣速度300L/s～3400L/s的產(chǎn)品,。

TG-M系列產(chǎn)品型號：

TGkine1700M/TGkine2200M、TGkine3300M,、TGkine3800M/TGkine4200M,、耐反應(yīng)生成物 磁懸浮復(fù)合分子泵　TGkine-MI系列。

磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵 TGkine-B系列產(chǎn)品特點：

■將電源控制器與分子泵一體化

■省電設(shè)計 

■輕巧設(shè)計

■對應(yīng)防護等級IP54

■多種通信接口

■對應(yīng)國際規(guī)格


CE/NRTL/SEMI-S2

使用場合：

?半導(dǎo)體制造設(shè)備

?FPD制造設(shè)備

?太陽能電池制造設(shè)備

?玻璃/鏡片等光學(xué)元件加工

?薄膜加工

?加速器/宇宙環(huán)境模擬設(shè)備

技術(shù)參數(shù)：

型號TGkine3300MTGkine3300M-40TGkine3400M
吸氣口法蘭VG300

ISO-B320

VG300

ISO-B320

VG350
排氣口法蘭KF40/KF50
排氣速度N2(L/s)3300
N2(附帶金屬防護網(wǎng)) (L/s)3100
H2(L/s)2700
最大壓縮比N2>1×108
H23×103
極限壓力VG?ISO-B(Pa)<2×10-7
VG?ISO-B(Torr)<7.5×10-9
最大氣體流量N2 (sccm)210040002100
啟動時間(min)≦11
停止時間(min)≦13
允許輔助壓力(Pa/Torr)170/1.28※1
推薦輔助泵(L/min)≧2000
輸入電壓(V)AC200-240V

-15%+10%

　相數(shù)單相
　頻率(Hz)50/60
　電流(A)Max. 5.3
　所需電力(kVA)Max. 0.9
通信接口
（規(guī)格可選）		Parallel I/O, RS232C, RS485, Profibus, DeviceNet
防護等級IP54
安裝角度任意
重量VG?ISO-B（kg）69
控制器型號控制器與分子泵一體型

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