您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)！ 登錄| 免費(fèi)注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)！ 登錄| 免費(fèi)注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
18684999873
將電源控制器與分子泵一體化
省電設(shè)計(jì)
輕巧設(shè)計(jì)
對應(yīng)防護(hù)等級IP54
多種通信接口
對應(yīng)國際規(guī)格
CE/NRTL/SEMI-S2
繼承了TG-M的特點(diǎn)
用途
半導(dǎo)體制造設(shè)備
FPD制造設(shè)備
太陽能電池制造設(shè)備
玻璃/鏡片等光學(xué)元件加工
薄膜加工
加速器/宇宙環(huán)境模擬設(shè)備
OSAKA磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵 TGkine-B系列使用磁懸浮軸承實(shí)現(xiàn)無油的排氣,，而且維護(hù)周期長。提供排氣速度300L/s～3400L/s的產(chǎn)品,。
TG-M系列產(chǎn)品型號：
TGkine1700M/TGkine2200M,、TGkine3300M,、TGkine3800M/TGkine4200M,、耐反應(yīng)生成物 磁懸浮復(fù)合分子泵 TGkine-MI系列。
磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵 TGkine-B系列產(chǎn)品特點(diǎn)：
■將電源控制器與分子泵一體化
■省電設(shè)計(jì)
■輕巧設(shè)計(jì)
■對應(yīng)防護(hù)等級IP54
■多種通信接口
■對應(yīng)國際規(guī)格
CE/NRTL/SEMI-S2
使用場合：
?半導(dǎo)體制造設(shè)備
?FPD制造設(shè)備
?太陽能電池制造設(shè)備
?玻璃/鏡片等光學(xué)元件加工
?薄膜加工
?加速器/宇宙環(huán)境模擬設(shè)備
技術(shù)參數(shù)：
| 型號 | TGkine3300M | TGkine3300M-40 | TGkine3400M | |
| 吸氣口法蘭 | VG300 ISO-B320 | VG300 ISO-B320 | VG350 | |
| 排氣口法蘭 | KF40/KF50 | |||
| 排氣速度 | N2(L/s) | 3300 | ||
| N2(附帶金屬防護(hù)網(wǎng)) (L/s) | 3100 | |||
| H2(L/s) | 2700 | |||
| 最大壓縮比 | N2 | >1×108 | ||
| H2 | 3×103 | |||
| 極限壓力 | VG?ISO-B(Pa) | <2×10-7 | ||
| VG?ISO-B(Torr) | <7.5×10-9 | |||
| 最大氣體流量 | N2 (sccm) | 2100 | 4000 | 2100 |
| 啟動(dòng)時(shí)間 | (min) | ≦11 | ||
| 停止時(shí)間 | (min) | ≦13 | ||
| 允許輔助壓力 | (Pa/Torr) | 170/1.28※1 | ||
| 推薦輔助泵 | (L/min) | ≧2000 | ||
| 輸入電壓 | (V) | AC200-240V -15%+10% | ||
| 相數(shù) | 單相 | |||
| 頻率 | (Hz) | 50/60 | ||
| 電流 | (A) | Max. 5.3 | ||
| 所需電力 | (kVA) | Max. 0.9 | ||
| 通信接口 （規(guī)格可選） | Parallel I/O, RS232C, RS485, Profibus, DeviceNet | |||
| 防護(hù)等級 | IP54 | |||
| 安裝角度 | 任意 | |||
| 重量 | VG?ISO-B（kg） | 69 | ||
| 控制器型號 | 控制器與分子泵一體型 | |||
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗(yàn)證碼
以上信息由企業(yè)自行提供,，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé),，化工儀器網(wǎng)對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任,。
溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量,。
