場發(fā)射掃描電子顯微鏡(FESEM)主要用于高分辨率的表面形貌觀察和微區(qū)成分分析。它具有高分辨率,，能夠觀察納米尺度的樣品表面形貌,，并通過二次電子成像原理獲得忠實原貌的立體感強的圖像。
FESEM可以用于各種固態(tài)樣品的表面形貌觀察,，包括生物樣品如組織,、細胞、微生物以及生物大分子等,。此外，F(xiàn)ESEM還配備高性能X射線能譜儀,，能夠進行樣品表層的微區(qū)點線面元素的定性,、半定量及定量分析，具有形貌和化學(xué)組分綜合分析能力,。
場發(fā)射掃描電子顯微鏡利用二次電子或背散射電子成像原理,，對樣品表面進行放大觀察。其使用場發(fā)射電子槍作為電子源,，通過強電場使金屬的電子脫離束縛,，形成高亮度、高相干性的電子束,。電子束經(jīng)過一系列的電磁透鏡和光闌進行聚焦,、偏轉(zhuǎn)和整形，形成一個細小的探針,。掃描線圈控制電子束在樣品表面進行逐行掃描,，與樣品相互作用產(chǎn)生二次電子、背散射電子等信號。這些信號被探測器收集,、放大并處理后,，生成反映樣品表面形貌、結(jié)構(gòu)和成分信息的圖像,。
維護與保養(yǎng)
燈絲維護：燈絲是場發(fā)射掃描電子顯微鏡的關(guān)鍵部件之一,，其使用壽命有限。正常使用情況下,，燈絲使用時間約為10000~20000小時,。在使用過程中，應(yīng)注意觀察燈絲的狀態(tài),，及時更換老化的燈絲,。燈絲更換需專業(yè)人士上門服務(wù)。
真空系統(tǒng)維護：真空系統(tǒng)的性能對場發(fā)射掃描電子顯微鏡的分辨率和穩(wěn)定性有著重要影響,。應(yīng)定期檢查真空泵,、管道、真空閥門等部件的性能,，確保其正常工作,。同時，應(yīng)定期測量真空值,，確保系統(tǒng)真空度滿足要求,。
日常清潔與保養(yǎng)：定期對場發(fā)射掃描電子顯微鏡進行清潔和保養(yǎng)，包括清潔樣品室,、探測器,、鏡頭等部件，以及檢查電氣連接和機械部件的緊固情況,。
綜上所述,，場發(fā)射掃描電子顯微鏡是一種高分辨率的電子顯微鏡，具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域和好的性能特點,。在使用過程中,，應(yīng)注意滿足其使用環(huán)境要求，并進行適當(dāng)?shù)木S護與保養(yǎng),，以確保其正常工作并延長使用壽命,。
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