掃描電子顯微鏡具有辯率高、景深大,、成像立體感強(qiáng)的特點(diǎn),,能同時(shí)分析形貌和成分,可用于形貌觀察,、顯微結(jié)構(gòu)分析,、微區(qū)成分分析、斷口形貌和成分分布分析等,,還可進(jìn)行樣品的原位動(dòng)態(tài)觀察和特定環(huán)境實(shí)驗(yàn),,在材料、納米科學(xué),、地質(zhì),、礦產(chǎn)、冶金,、機(jī)械,、化學(xué)、化工,、物理,、電子、生物,、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域都有廣泛的用途,。
場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡是一種高分辨率的電子顯微鏡技術(shù),可用于觀察樣品表面的微觀結(jié)構(gòu),。它使用場(chǎng)發(fā)射電子源產(chǎn)生高能電子束,,并通過(guò)透鏡系統(tǒng)將電子聚焦到樣品表面上。樣品與電子束相互作用后,,產(chǎn)生的反射,、散射和二次電子等信號(hào)被收集并轉(zhuǎn)換成圖像,。
掃描電子顯微鏡以電子束為光源,,以光柵式掃描方式將精細(xì)聚焦的電子束照射到樣品上。二次電子,、背散射電子等,。電子與樣品之間相互作用所產(chǎn)生的電子然后被收集和處理,以獲得顯微形貌的放大圖像,。
主要功能用途:
場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡(FESEM)具有高分辨率,,能做各種固態(tài)樣品表面形貌的二次電子像,、反射電子像觀察及圖像處理。
具有高性能X射線能譜儀,,能同時(shí)進(jìn)行樣品表層的微區(qū)點(diǎn)線面元素的定性,、半定量及定量分析,具有形貌,、化學(xué)組分綜合分析能力,。
場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡的原理是利用二次電子或背散射電子成像,對(duì)樣品表面放大一定的倍數(shù)進(jìn)行形貌觀察,,同時(shí)利用電子激發(fā)出樣品表面的特征X射線來(lái)對(duì)微區(qū)的成分進(jìn)行定性定量分析,,是我們材料研究分析中一雙亮麗的“眼睛”。
掃描電鏡按照電子槍分類可以分為鎢(W)燈絲,、六硼化鑭(LaB6)燈絲,、場(chǎng)發(fā)射(FieldEmission)三種,場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡相比于鎢燈絲,、六硼化鑭,,具有電子束斑小、高分辨率,、穩(wěn)定性好等特點(diǎn),。
場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡的優(yōu)點(diǎn):
(1)有較高的放大倍數(shù),20-30萬(wàn)倍之間連續(xù)可調(diào),;
(2)有很大的景深,,視野大,成像富有立體感,,可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu),;
(3)試樣制備簡(jiǎn)單,目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀(EDS)裝置,,這樣可以同時(shí)進(jìn)行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析,。
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