鎢燈絲掃描電鏡(Tungsten Filament Scanning Electron Microscope，TFE-SEM)是一種常見的高分辨率成像技術(shù),。它利用高速電子掃描樣品表面,，可以得到樣品表面的高分辨率像，常用于研究材料的形貌,、微結(jié)構(gòu)和成分等,。
鎢燈絲掃描電鏡總發(fā)射電流以及束斑都比較大，抗干擾能力還有穩(wěn)定性都比較好,，低真空下能夠?qū)Σ粚?dǎo)電樣品無荷電成像,，能夠使用于形貌觀察、顯微結(jié)構(gòu)分析以及斷口形貌分析,，在材料領(lǐng)域,、地質(zhì)領(lǐng)域,、礦產(chǎn)領(lǐng)域、冶金領(lǐng)域,、機(jī)械領(lǐng)域,、化學(xué)領(lǐng)域、化工領(lǐng)域,、物理領(lǐng)域,、電子領(lǐng)域、生物領(lǐng)域以及醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域都有廣泛的使用,。
鎢燈絲掃描電鏡的主要功能包括形貌觀察,、成分分析、失效分析,、應(yīng)力分析和相分析等,。這種設(shè)備利用高能電子束掃描樣品表面，產(chǎn)生多種物理信號(hào),，如二次電子,、背散射電子等，這些信號(hào)通過探測器收集并放大后,，用于調(diào)制得到樣品的顯微圖像,。鎢燈絲掃描電鏡具有較大的總發(fā)射電流和束斑，具有較好的抗干擾能力和穩(wěn)定性,，適合在低真空環(huán)境下使用,，甚至可以對不導(dǎo)電樣品進(jìn)行無荷電成像。鎢燈絲掃描電鏡還提供穩(wěn)定的光源,，滿足不同的掃描模式下的成像需求,，且具有較長的使用壽命，可以減少維護(hù)和升級(jí)成本,。
經(jīng)過對電子槍內(nèi)的鎢燈絲加高電壓,，讓電子槍處于熱激發(fā)的狀態(tài)，在陽極作用下,，處于熱激發(fā)的電子槍就能夠激發(fā)出電子束,。通過掃描線圈磁場的操控，電子束在樣品表面逐點(diǎn)掃描,，激發(fā)出二次電子以及背散射電子等物理信號(hào),，通過探測器收集還有放大器放大之后，調(diào)制并得到圖像,。鎢燈絲掃描電鏡比較適合大量的常規(guī)檢測,。
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