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參考價: | ¥ 9586 |
訂貨量: | 1件 |
- UTM70B 產(chǎn)品型號
- ULVAC/日本愛發(fā)科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 深圳市 所在地
訪問次數(shù):219更新時間:2024-08-12 14:22:54
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- 韓政
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 石油,建材,電子,制藥,綜合 | 序列號 | 176.0755.4908. |
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提高了該耐溶解和粉末排出性能,。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計
進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科 標(biāo)準(zhǔn)渦輪分子泵UTM?B系列
進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科 標(biāo)準(zhǔn)渦輪分子泵UTM?B系列
使用 安裝組件可無需支架直接搭載
標(biāo)配熱傳感器
熱傳感器可以監(jiān)測真空泵溫度的異常上升,通知油量的減少和泵的異常,。
內(nèi)置油霧過濾器的大容量油箱
大容量油箱(油容量:23~30L)減少油的更換頻率,。 油箱內(nèi)置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內(nèi),。 油凈化裝置去除混入的雜質(zhì),。
特點
安裝方向自由
安裝方向沒有限制,擴(kuò)展了設(shè)備設(shè)計的自由度。
搭載控制器
控制器安裝在主體上,,有效地減少了布線并減小了排氣系統(tǒng)的尺寸,。
高壓縮比?高排氣圧力
高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實現(xiàn)小型化。
三種法蘭可供選擇
VG,、ICF,、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。
清潔真空
在運行時以及泵停止時,,碳?xì)浠衔锏幕亓骱苌佟?/p>
用途
分析設(shè)備,、研究開發(fā)設(shè)備、實驗設(shè)備等的主排氣系統(tǒng)
蒸發(fā)設(shè)備,、濺射設(shè)備等著排氣系統(tǒng)
H2,、He等輕氣體主排氣系統(tǒng)
規(guī)格
型號 | UTM70B | UTM300B | |||||
泵體 | 冷卻方式 | 自然空冷 | 強(qiáng)制空冷 | 自然空冷 | 強(qiáng)制空冷 | ||
法蘭口徑 | 吸氣口*1 | VG65, ICF114, ISO063-K | VG100, ICF152, ISO100-K | ||||
排氣口 | KF16 | KF16 | |||||
排氣速度 (無防護(hù)網(wǎng)時) | N2 | 70 L/s | 280 L/s | ||||
He | 60 L/s | 270 L/s | |||||
H2 | 49 L/s | 220 L/s | |||||
到達(dá)壓力 *2 | 烘烤后 | - *3 | 10-8Pa | - *3 | 10-8Pa | ||
烘烤 | 10-6Pa | 10-6Pa | 10-6Pa | ||||
最大壓縮比 | N2 : >1×109, He : 4×107, H2 : 4×105 | N2 : >1×109, He : 7×106, H2 : 1×105 | |||||
最大吸氣口壓力 *4, *5, *6 | N2 | 0.43Pa | 1.1Pa | 0.06Pa | 0.7Pa | ||
最大排氣口壓力 *4, *5, *7 | N2 | 300Pa | 900Pa | 100Pa | 1000Pa | ||
連續(xù)運轉(zhuǎn) 最大流量 *8 | 無排放 氣體 | N2 | 15sccm *9 | 40sccm *9 | 10sccm *10 | 100sccm *10 | |
無排放 氣體 | Ar | - | 10sccm *9 | - | 30sccm *10 | ||
有排放 氣體 | - | 15sccm *9 | - | 40sccm *10 | |||
推薦輔助泵 (10SCCM吸引時 ) *11 | >60L/min | >120L/min | |||||
質(zhì)量 | VG:3.3kg, ISF:3.0kg, ISO:5.0kg | 6.0kg / 9.0kg | 6.3kg / 9.3kg | ||||
回轉(zhuǎn)數(shù) | 87000rpm | 60000rpm | |||||
啟動時間(Up to 80%) (DC24V 背圧:5Pa以下時) | 1.7 min | 3.5 min | |||||
表面處理 *12 | 無 | ||||||
安裝方向 | 安裝可能 | ||||||
噪音 *13 | <48dB(A) | <50dB(A) | |||||
控制器 | 輸入電源 | DC24V ±5%, 120W | DC24V ±5%, 180W | ||||
觸點輸入輸出 | REMOTE(D-sub 15針公頭)數(shù)字輸入/輸出4點,模擬輸出1點 | ||||||
串行通信 | RS-485(D-sub 15針公頭,與REMOTE共用) | ||||||
LED顯示 | POWER,NORMAL,ALARM | ||||||
開關(guān) | START/STOP,RESET | ||||||
回轉(zhuǎn)數(shù)可變機(jī)能 | 在泵規(guī)定回轉(zhuǎn)數(shù)25%~100%間,、可以變更運轉(zhuǎn)回轉(zhuǎn)數(shù),。(設(shè)定為0.1%單位) | ||||||
異常檢測 | 報警,檢測警告內(nèi)容 | ||||||
保護(hù)動作 | 報警,,顯示警告內(nèi)容 | ||||||
標(biāo)準(zhǔn)附屬品 | 使用說明書(CD-R),、防護(hù)網(wǎng)(僅限VG、ICF,。ISO法蘭的已組入墊片),、 墊片(吸氣口用)、防塵帽(吸氣口,、排氣口,、連接器用)各1個 | ||||||
合格標(biāo)準(zhǔn) | CE, TUVus |
*1 | 訂購時請選擇吸氣口法蘭。 |
*2 | 使用2段式輔助泵時 |
*3 | 僅限于使用ICF法蘭強(qiáng)制空冷時才能烘烤,。 |
*4 | 周圍溫度為25°C時的值,。允許值隨周圍溫度變化而變化。 |
*5 | 不能同時滿足最大吸氣口壓力和最大排氣口壓力,。 |
*6 | 為可連續(xù)排氣的最大吸氣口壓力,。 |
*7 | 來自進(jìn)氣口的排氣流量為0sccm時的可連續(xù)運行的排氣口的最大壓力。 |
*8 | 周圍溫度為5~25°C時的值,。排放氣體請使用N2以25sccm進(jìn)行,。 |
*9 | 以60L/min使用輔助泵時的值。 |
*10 | 以120L/min使用輔助泵時的值,。 |
*11 | 氣體量較大時,,在選擇輔助泵時請保證排氣口的壓力要在最大排氣口壓力以下。 |
*12 | 請勿流入反應(yīng)性氣體,、腐蝕性氣體,、含Ga氣體,。其他相關(guān)問題請聯(lián)系我們。 |
*13 | ISO法蘭型,。依據(jù)本公司的測量方法,。 |