17607554908
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HORIBA堀場 數(shù)字水質計pH 計 D-220P-S
HORIBA堀場 現(xiàn)場型便攜式pH計 D-210P
HORIBA堀場 WQ - 320PD-S多數(shù)字 pH/光學 DO 套
HORIBA堀場 WQ-310D-S 便攜式多功能數(shù)字水質計
HORIBA堀場 WQ-310P-S 多功能數(shù)字水質計
| 應用領域 | 農林牧漁,電子/電池,道路/軌道/船舶,電氣,綜合 | 訂貨號 | 176.0755.4908. |
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全新HORIBA堀場 緊湊機身中的控制單元
全新HORIBA堀場 緊湊機身中的控制單元
隨著半導體制造薄膜沉積工藝中微細加工的進步，處理后保持腔室清潔對于提高生產率變得非常重要,。 IR-400系列是用于薄膜沉積工藝的腔室清潔終點檢測監(jiān)視器,，可實時監(jiān)測廢氣成分（SiF4、CF4）。通過優(yōu)化干洗終點檢測,、減少清潔氣體消耗和時間以及減少室損壞,，有助于延長零件的使用壽命。
寬廣的流量控制范圍,，從 10 SCCM 到 1000 SLM
流量控制范圍可以從滿量程流量值的 2% 開始執(zhí)行
高精度：±1.0% 提高 SP 流量精度
配備數(shù)字校正功能,，實現(xiàn)設定點精度
全流量范圍快速響應：1秒內完成全量程
配備多氣體/多量程功能，
允許用戶改變氣體類型和滿量程流量,。
在整個流量范圍內（上升,、下降、設定值到設定值）響應時間為 100 毫秒或更短
自診斷多重診斷功能
改進的壓力不敏感功能
高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復性 (±0.15 %SP)
兼容環(huán)境溫度范圍廣（15-60℃）
0.1 至 100% 的寬范圍控制和低流量下的高精度
提供了過程優(yōu)化和靈活性,。
小于500毫秒的高速響應
級別,，
尺寸僅為其他公司的 1/20，傳感器截面尺寸僅為 5 厘米,。非常適合整合到設備中
該傳感器配備有由16根電極棒組成的9個四極桿部分,，具有的結構，盡管其尺寸最小,，但仍實現(xiàn)了高靈敏度,。
低真空（高壓）操作
當測量總壓力高達 0.5 Pa（對于 2-65 m/z 傳感器）時，無需準備額外的差壓泵系統(tǒng),。
用戶可更換的傳感器
校準過濾器可以在現(xiàn)場輕松更換,，無需拆卸設備。
一臺安裝了專用通信
軟件的 PC 通過 RS-485 通信最多可以連接 8 臺設備,。它還具有適合設備集成的模擬輸入/輸出,。
用戶友好的 Micropole ScannerTM 2 軟件是為專用軟件QL-SG02 開發(fā)的，可實現(xiàn) QL-SG02 的控制,、數(shù)據(jù)采集,、可視化和分析。
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