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參考價(jià): | ¥ 7669 |
訂貨量: | 1件 |
- UX 4486SC 產(chǎn)品型號(hào)
- USHIO/牛尾 品牌
- 經(jīng)銷(xiāo)商 廠商性質(zhì)
- 深圳市 所在地
訪問(wèn)次數(shù):225更新時(shí)間:2024-08-06 18:35:44
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,建材,電子,電氣,綜合 |
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訂貨號(hào) | 176.0755.4908. |
USHIO 一直提供專(zhuān)門(mén)用于服務(wù)器,、個(gè)人電腦,、智能手機(jī)和平板電腦等移動(dòng)設(shè)備中使用的 封裝應(yīng)用的步進(jìn)機(jī)。這是一款封裝基板用步進(jìn)機(jī),采用了Ushio多年來(lái)積累的光源和光學(xué)技術(shù)以及我們 的大面積投影透鏡技術(shù),,并使用了與面板尺寸相對(duì)應(yīng)的平臺(tái),。它實(shí)現(xiàn)了高生產(chǎn)率,同時(shí)實(shí)現(xiàn)了封
池田屋現(xiàn)貨USHIO牛尾 UX-4486SC 投影曝光裝置
池田屋現(xiàn)貨USHIO牛尾 UX-4486SC 投影曝光裝置
USHIO 一直提供專(zhuān)門(mén)用于服務(wù)器,、個(gè)人電腦,、智能手機(jī)和平板電腦等移動(dòng)設(shè)備中使用的封裝應(yīng)用的步進(jìn)機(jī)。這是一款封裝基板用步進(jìn)機(jī),,采用了Ushio多年來(lái)積累的光源和光學(xué)技術(shù)以及我們 的大面積投影透鏡技術(shù),,并使用了與面板尺寸相對(duì)應(yīng)的平臺(tái)。它實(shí)現(xiàn)了高生產(chǎn)率,,同時(shí)實(shí)現(xiàn)了封裝基板所需的高分辨率和覆蓋精度,。
[元件技術(shù)]
配備*占有率*的超高壓UV燈
具有高均勻性的 照射光學(xué)系統(tǒng)
的大面積投影鏡頭
響應(yīng)基板特定畸變的對(duì)準(zhǔn)技術(shù)
的TTL非曝光波長(zhǎng)/對(duì)準(zhǔn)方法
Ushio的技術(shù)“TTL非曝光波長(zhǎng)對(duì)準(zhǔn)"在觀察掩模標(biāo)記時(shí)無(wú)需暴露基板上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記,。此外,,由于可以直接觀察工件標(biāo)記,因此不會(huì)因掩模而降低對(duì)比度,,并且可以與清晰的標(biāo)記進(jìn)行高精度對(duì)準(zhǔn),。
兼容多種對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記
由于支持對(duì)已登記圖案的圖案匹配,因此無(wú)需專(zhuān)用對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記,,即可與各種布線圖案進(jìn)行對(duì)準(zhǔn),。
高分辨率能力
配備Ushio投影鏡頭“UPL系列"以實(shí)現(xiàn)高分辨率。支持全面量產(chǎn),,設(shè)計(jì)規(guī)則線距=5μm,。
深景深
由于焦點(diǎn)深度較深(±50 至 100 μm),因此即使由于基板的臺(tái)階,、翹曲或波紋而導(dǎo)致焦點(diǎn)偏離,,也可以獲得與正確對(duì)焦時(shí)相同的圖案輪廓。當(dāng)曝光較厚的干膜,、阻焊劑等時(shí)尤其有效,。
使用表面平臺(tái)進(jìn)行高速步進(jìn)和重復(fù)
通過(guò)使用精密空氣軸承消除摩擦,并通過(guò)平面電機(jī)結(jié)構(gòu)使運(yùn)動(dòng)部件更輕,、更堅(jiān)固,,實(shí)現(xiàn)了高速步進(jìn)重復(fù)操作。此外,,表面平臺(tái)使用激光干涉儀進(jìn)行反饋控制,,實(shí)現(xiàn)高速運(yùn)行和高定位精度。
面罩無(wú)損傷
UX-4系列陣容
模型 | UX-4486SC | UX-44101SC | UX-4423SC | UX-4459SC | UX-4440SC | UX-4438SC | UX-4458SC | UX-4477SC |
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面罩尺寸 | □5英寸 | □7英寸,、□5英寸 | □9英寸,、□7英寸 | |||||
晶圓尺寸 | φ4英寸 | φ6英寸、φ4英寸 | φ8英寸、φ6英寸 | |||||
解決 | 7μm長(zhǎng)/秒 | 2μm長(zhǎng)/秒 | 9μm長(zhǎng)/秒 | 6μm長(zhǎng)/秒 | 5μm長(zhǎng)/秒 | 12μm長(zhǎng)/秒 | 6μm長(zhǎng)/秒 | 4μm長(zhǎng)/秒 |
總體疊加精度 | ±1.0μm L/S | ±1.0μm L/S | ±1.0μm L/S | ±1.0μm L/S | ±2.0μm L/S | ±1.0μ;m L/S | ±1.0μm L/S | ±1.0μm L/S |
曝光波長(zhǎng) | 洲際線 | 我行 | 洲際線 | 我行 | 我行 | 洲際線 | 我行 | 我行 |
吞吐量 | 120W/小時(shí) | |||||||
選項(xiàng) | 背面對(duì)準(zhǔn),、IR對(duì)準(zhǔn),、掩模庫(kù)、特殊晶圓支撐 |