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參考價: ￥ 7669

訂貨量: ≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號UX 4486SC

品牌USHIO/牛尾

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地深圳市

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更新時間：2024-08-06 18:35:44瀏覽次數(shù)：330次

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產(chǎn)品分類品牌分類

USHIO牛尾

全部產(chǎn)品列表

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別	進(jìn)口	應(yīng)用領(lǐng)域	化工,建材/家具,電子/電池,電氣,綜合
訂貨號	176.0755.4908.

池田屋現(xiàn)貨USHIO牛尾 UX-4486SC 投影曝光裝置
USHIO 一直提供專門用于服務(wù)器,、個人電腦,、智能手機(jī)和平板電腦等移動設(shè)備中使用的封裝應(yīng)用的步進(jìn)機(jī),。這是一款封裝基板用步進(jìn)機(jī)，采用了Ushio多年來積累的光源和光學(xué)技術(shù)以及我們的大面積投影透鏡技術(shù),，并使用了與面板尺寸相對應(yīng)的平臺,。它實現(xiàn)了高生產(chǎn)率，同時實現(xiàn)了封

詳情介紹

池田屋現(xiàn)貨USHIO牛尾 UX-4486SC 投影曝光裝置

USHIO 一直提供專門用于服務(wù)器,、個人電腦,、智能手機(jī)和平板電腦等移動設(shè)備中使用的封裝應(yīng)用的步進(jìn)機(jī)。這是一款封裝基板用步進(jìn)機(jī),，采用了Ushio多年來積累的光源和光學(xué)技術(shù)以及我們的大面積投影透鏡技術(shù),，并使用了與面板尺寸相對應(yīng)的平臺。它實現(xiàn)了高生產(chǎn)率,，同時實現(xiàn)了封裝基板所需的高分辨率和覆蓋精度,。

[元件技術(shù)]

配備*占有率*的超高壓UV燈

具有高均勻性的照射光學(xué)系統(tǒng)

的大面積投影鏡頭

響應(yīng)基板特定畸變的對準(zhǔn)技術(shù)

的TTL非曝光波長/對準(zhǔn)方法

Ushio的技術(shù)“TTL非曝光波長對準(zhǔn)"在觀察掩模標(biāo)記時無需暴露基板上的對準(zhǔn)標(biāo)記。此外,，由于可以直接觀察工件標(biāo)記,，因此不會因掩模而降低對比度，并且可以與清晰的標(biāo)記進(jìn)行高精度對準(zhǔn),。

兼容多種對準(zhǔn)標(biāo)記

由于支持對已登記圖案的圖案匹配,，因此無需專用對準(zhǔn)標(biāo)記，即可與各種布線圖案進(jìn)行對準(zhǔn),。

高分辨率能力

配備Ushio投影鏡頭“UPL系列"以實現(xiàn)高分辨率,。支持全面量產(chǎn)，設(shè)計規(guī)則線距=5μm,。

深景深

由于焦點(diǎn)深度較深（±50 至 100 μm）,，因此即使由于基板的臺階、翹曲或波紋而導(dǎo)致焦點(diǎn)偏離,，也可以獲得與正確對焦時相同的圖案輪廓,。當(dāng)曝光較厚的干膜、阻焊劑等時尤其有效,。

使用表面平臺進(jìn)行高速步進(jìn)和重復(fù)

通過使用精密空氣軸承消除摩擦,，并通過平面電機(jī)結(jié)構(gòu)使運(yùn)動部件更輕、更堅固,，實現(xiàn)了高速步進(jìn)重復(fù)操作,。此外，表面平臺使用激光干涉儀進(jìn)行反饋控制,，實現(xiàn)高速運(yùn)行和高定位精度,。

面罩無損傷

UX-4系列陣容

模型	UX-4486SC	UX-44101SC	UX-4423SC	UX-4459SC	UX-4440SC	UX-4438SC	UX-4458SC	UX-4477SC
面罩尺寸	□5英寸		□7英寸,、□5英寸			□9英寸、□7英寸
晶圓尺寸	φ4英寸		φ6英寸,、φ4英寸			φ8英寸,、φ6英寸
解決	7μm長/秒	2μm長/秒	9μm長/秒	6μm長/秒	5μm長/秒	12μm長/秒	6μm長/秒	4μm長/秒
總體疊加精度	±1.0μm L/S	±1.0μm L/S	±1.0μm L/S	±1.0μm L/S	±2.0μm L/S	±1.0μ;m L/S	±1.0μm L/S	±1.0μm L/S
曝光波長	洲際線	我行	洲際線	我行	我行	洲際線	我行	我行
吞吐量	120W/小時
選項	背面對準(zhǔn)、IR對準(zhǔn),、掩模庫,、特殊晶圓支撐