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今日分享KAKUHUNTER寫真化學反射式膜厚監(jiān)測儀
今日分享KAKUHUNTER寫真化學反射式膜厚監(jiān)測儀
反射式膜厚監(jiān)測儀是一種反射分光式膜厚計,采用小型反射探頭并采用光學干涉測量法,,可應用于從實驗室水平到生產(chǎn)過程中在線 檢查的所有情況,。它具有出色的可維護性,可以集成到工藝設備中或用于生產(chǎn)線管理目的,。
最多可同時測量 9 種透明薄膜,。
它具有出色的可維護性,可以集成到工藝設備中或用于生產(chǎn)線管理目的,。
例如,,它可以用作成膜、拋光和蝕刻過程中的在線監(jiān)控器或終點監(jiān)控器(終點檢測傳感器),,并可以實時監(jiān)控膜厚,。它
還可用于評價多晶硅的結晶度和多孔薄膜的密度。
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我想輕松測量透明多層薄膜每一層的厚度,。
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我想自動測量多個點的薄膜厚度,。
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我想以10μm以下的高分辨率研究膜厚分布。
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我想測量半透明板的厚度,。