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干涉儀是一種通過測量光照射到物體時(shí)發(fā)生的干涉現(xiàn)象來測量物體的表面形狀、折射率和尺寸的裝置,。
干涉現(xiàn)象是多個(gè)波疊加并相互增強(qiáng)或抵消時(shí)產(chǎn)生新的波形,。當(dāng)波來自同一源或具有相同或相似的頻率時(shí)，這一點(diǎn)最為明顯,。
干涉儀有不同類型,，例如邁克爾遜干涉儀、馬赫-曾德爾干涉儀和斐索干涉儀,。
干涉儀用途
干涉儀的主要用途是對玻璃,、金屬、陶瓷等平板等物體表面進(jìn)行非接觸式觀察,。例如,，玻璃產(chǎn)品包括智能手機(jī)蓋板玻璃、液晶玻璃,、分色光學(xué)系統(tǒng)中使用的棱鏡和半導(dǎo)體掩?；澹饘佼a(chǎn)品包括模具和鋁盤,。
此外,，還可以測量電子設(shè)備用半導(dǎo)體器件中使用的硅晶片、硬盤基板等特殊物品,。射電干涉儀還用于使用射電望遠(yuǎn)鏡進(jìn)行天文觀測,。
干涉儀原理
主干涉儀將光源發(fā)出的光分成兩束，使一束光束穿過樣品并與另一束干涉,。此時(shí),，光學(xué)距離根據(jù)透射樣品的折射率和距離而變化,，并出現(xiàn)干涉條紋圖案。
通過用干涉儀分析干涉條紋圖案,，可以測量測量樣品的表面形狀和透射波前形狀,。用干涉儀可以測量的尺寸最多只有幾厘米到十幾厘米。如果測量樣品較大,，可能需要采取切割等措施,。
干涉儀類型
干涉儀包括可測量平面玻璃、晶圓和鏡子等拋光表面的干涉儀,，以及可測量光學(xué)透鏡,、鋼球和塑料透鏡等球面的干涉儀。還有在 2 軸或 3 軸上進(jìn)行測量的多軸干涉儀,，這些多軸干涉儀可以實(shí)現(xiàn)更節(jié)省空間和高靈敏度的測量,。
激光掃描干涉儀還可以測量平面以外的表面，例如圓柱面,。用于測量玻璃,、光纖端面、陶瓷,、金屬磨削面,、注塑塑料等。種類有很多種,，需要根據(jù)用途來選擇,。
