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精密平臺(tái)是可以在X軸和Y方向或旋轉(zhuǎn)方向上精確移動(dòng)的平臺(tái)。
可動(dòng)軸根據(jù)型號(hào)的不同而不同,,精密平臺(tái)有從1軸到4軸以上的各種類型,。
采用小螺距的進(jìn)給螺桿來(lái)移動(dòng)載物臺(tái),利用千分尺或帶減速機(jī)的電機(jī)可以使工作臺(tái)以微米級(jí)的速度移動(dòng),,因此用于觀察極小的樣品,。
雖然載物臺(tái)可以精確移動(dòng),但載物臺(tái)的移動(dòng)范圍只有幾厘米,,不適合需要長(zhǎng)距離移動(dòng)載物臺(tái)的應(yīng)用,。
精密平臺(tái)的應(yīng)用
當(dāng)您想要精確控制樣品的位置時(shí),可以使用精密平臺(tái),,因?yàn)樗鼈兛梢跃_且獨(dú)立地移動(dòng)每個(gè)軸,,例如 X、Y,、Z 和其他三個(gè)軸的旋轉(zhuǎn)方向,。
用作顯微鏡觀察半導(dǎo)體器件等微小物體的載物臺(tái)、使用加工機(jī)械進(jìn)行精密加工時(shí)固定工件的載物臺(tái),、檢查光學(xué)透鏡時(shí)的光軸對(duì)準(zhǔn)用等,。它可以用作高精度定位連接零件的平臺(tái)。
精密平臺(tái)原理
精密工作臺(tái)由高精度直線導(dǎo)軌,、進(jìn)給絲杠,、千分尺或帶有減速機(jī)的電機(jī)組成,用于旋轉(zhuǎn)進(jìn)給絲杠,,并且具有與可移動(dòng)軸一樣多的這些機(jī)構(gòu),。當(dāng)進(jìn)給螺桿伸長(zhǎng)一次時(shí),,工作臺(tái)會(huì)移動(dòng)螺桿的螺距(約零點(diǎn)幾毫米)。
使用千分尺時(shí),,可通過(guò)讀取刻在千分尺上的特殊刻度來(lái)確定移動(dòng)量,。
使用電機(jī)時(shí),電機(jī)內(nèi)置旋轉(zhuǎn)編碼器,,可以檢測(cè)旋轉(zhuǎn)速度,,從而控制載物臺(tái)移動(dòng)量。
根據(jù)應(yīng)用的不同,,精密平臺(tái)有多種產(chǎn)品可供選擇,,從僅具有 X 軸的 1 軸平臺(tái)到具有 X 和 Y 軸的2 軸平臺(tái),以及添加了 Z 軸的 3 至 6 軸平臺(tái)- 軸和旋轉(zhuǎn),??梢允褂弥挥幸粋€(gè)軸的6軸精密工作臺(tái),即所謂的大尺寸-小尺寸組合,,但精密工作臺(tái)的價(jià)格隨著可移動(dòng)軸數(shù)量的增加而增加,,因此有必要我們建議您選擇一種具有 規(guī)格的產(chǎn)品。