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膜厚測試儀
膜厚測試儀,,分為手持式和臺式二種,手持式又有磁感應鍍層測厚儀,,電渦流鍍層測厚儀,,熒光X射線儀鍍層測厚儀。
手持式的磁感應原理時,,利用從測頭經(jīng)過非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小,,來測定覆層厚度。
也可以測定與之對應的磁阻的大小,,來表示其覆層厚度,。
臺式的熒光X射線膜厚測試儀,是通過一次X射線穿透金屬元素樣品時·產(chǎn)生低能量的光子,,俗稱為二次熒光,,,在通過計算二次熒光的能量來計算厚度值。
采用磁感應原理時,,利用從測頭經(jīng)過非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小,,來測定覆層厚度。也可以測定與之對應的磁阻的大小,,來表示其覆層厚度,。覆層越厚,則磁阻越大,,磁通越小,。
利用磁感應原理的測厚儀,原則上可以有導磁基體上的非導磁覆層厚度,。一般要求基材導磁率在500以上,。如果覆層材料也有磁性,則要求與基材的導磁率之差足夠大(如鋼上鍍鎳),。當軟芯上繞著線圈的測頭放在被測樣本上時,,儀器自動輸出測試電流或測試信號。
早期的產(chǎn)品采用指針式表頭,,測量感應電動勢的大小,,儀器將該信號放大后來指示覆層厚度。電路設計引入穩(wěn)頻,、鎖相,、溫度補償?shù)鹊匦录夹g(shù),利用磁阻來調(diào)制測量信號,。還采用集成電路,,引入微機,使測量精度和重現(xiàn)性有了大幅度的提高(幾乎達一個數(shù)量級)。
現(xiàn)代的磁感應測厚儀,,分辨率達到0.1um,,允許誤差達1%,,量程達10mm,。