聯(lián)系電話
深圳市京都玉崎電子有限公司
中級會員·3年
- 聯(lián)系人：
- 袁蘭香
- 電話：
- 13717032088
- 手機：
- 13717032088
- 傳真：
- 86-755-28578000
- 地址：
- 龍華新區(qū)梅龍大道906號創(chuàng)業(yè)樓
- 個性化：
- www.cucudi.com
- 網(wǎng)址：
- www.tamasaki.cn
掃一掃訪問手機商鋪
一、離子泵的概述
離子泵是一種高真空泵,，可用于制備超高真空環(huán)境,。相比于其他真空泵,，它的排氣速度更高，真空度更高,，使用壽命更長,。其主要工作原理是利用電場和熱碰撞將氣體分子離子化，然后通過靜電吸附將離子排除,，達到排氣的目的,。
二、離子泵的主要組成部分
1.離子源
離子源是離子泵的核心部分,，其主要作用是將氣體分子離子化,。離子源通常是由陽極和陰極構(gòu)成的兩個電極結(jié)構(gòu)，通過高電壓使氣體分子在電離室內(nèi)產(chǎn)生電離,，形成離子,，然后被迅速地吸附到周圍電極表面而排出氣體。
2.收集極
離子泵的收集極是該泵的另一個重要組成部分,。收集極是由一組精細的電極構(gòu)成,，可以吸附離子并保持真空度。其主要作用是將被離子化的氣體分子排出離子源,，并將其吸附到收集極表面,，從而完成氣體排除的過程。
3.泵殼和電源
離子泵的泵殼和電源通常由一組穩(wěn)定的任意場磁屏蔽構(gòu)成,，以保證高真空泵的高度穩(wěn)定,。電源為離子泵提供所需的高壓能量，使其可以完成離子泵工作的過程,。
三,、離子泵的工作原理
離子泵的工作原理是通過電場和熱碰撞將氣體分子離子化，然后通過靜電吸附將之排除,。具體過程如下：
1.在離子源中,，利用電場和熱碰撞將氣體分子離子化。
2.產(chǎn)生的離子會被靜電吸附到離子泵的收集極表面,，從而完成氣體排除的過程,。
3.在排除過程中，離子泵中的其他氣體會在外部系統(tǒng)中通過低壓氣體泵排出,。
4.隨著氣體分子周圍的真空度的提高,，排氣速度將一直加快，直到達到目標真空度和氣體排出量,。
四,、結(jié)論
離子泵是一種具有高排氣速度和高真空度特點的高真空泵。它的工作原理是利用電場和熱碰撞將氣體分子離子化,，然后通過靜電吸附將之排除,。理解離子泵的工作原理和結(jié)構(gòu)可以幫助我們更好地掌握其使用方法和維護常識,。
