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測量真空壓力主要有三種方式：機械現(xiàn)象,、氣體傳輸現(xiàn)象和氣體電離現(xiàn)象。
1. 力學(xué)現(xiàn)象
利用機械現(xiàn)象進行測量可以使用U型管壓力計,、麥克勞德真空計,、隔膜真空計、波登管真空計,、重量式真空計等,。
U型管壓力表
這是一種帶有玻璃U型管的差壓表，其一側(cè)抽真空并密封,?？梢詮膲毫Σ钜鸬囊褐叨茸x取氣體中的壓力差，其du特之處在于不受氣體類型的影響,。這使得可以測量壓力的絕對值,。
McLeod真空計
一種水銀液柱壓力計,，用于測量高真空壓力。它具有壓縮氣體并擴大其壓力的機制,，從而可以測量絕對壓力,。
隔膜真空計 這
是一種通過機械、光學(xué)和電學(xué)方式讀取隔膜壓力引起的變形量的方法,。
2. 氣體輸送現(xiàn)象
熱傳導(dǎo)真空計是利用氣體傳輸現(xiàn)象的真空壓力表,。它利用了氣體的熱導(dǎo)率隨壓力而變化的特性。
熱傳導(dǎo)真空計的種類很多,，如皮拉尼真空計,、熱敏電阻真空計、熱電偶真空計等,。關(guān)于熱傳導(dǎo)真空計需要注意的重要一點是,，在高真空下，熱輻射的影響變得大于熱傳導(dǎo)的影響,。因此,，熱導(dǎo)真空計的缺點是不能用于高真空測量。
皮拉尼真空計是一種檢測電阻變化的測量儀器,。在該方法中,，電流通過細鉑電阻絲，電橋電路檢測由于氣體分子碰撞帶走熱量而引起的鉑電阻的變化,。
3,、氣體電離現(xiàn)象
該方法利用氣體的電離現(xiàn)象來測量真空度。有熱陰極電離真空計,、冷陰極電離真空計,、輻射真空計等多種類型。
熱陰極電離真空計
通過從熱陰極發(fā)射熱電子來電離氣體并測量產(chǎn)生的離子,。
冷陰極電離真空計
通過冷陰極放電使氣體電離并測量離子的方法,。
輻射真空計
測量輻射產(chǎn)生的離子。
