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1,、壓電式
壓電式加速度傳感器又稱壓電加速度計(jì),。它也屬于慣性式傳感器。
壓電式加速度傳感器的原理是利用壓電陶瓷或石英晶體的壓電效應(yīng),,在加速度計(jì)受振時(shí),,質(zhì)量塊加在壓電元件上的力也隨之變化。當(dāng)被測(cè)振動(dòng)頻率遠(yuǎn)低于加速度計(jì)的固有頻率時(shí),,則力的變化與被測(cè)加速度成正比
2,、壓阻式
基于MEMS硅微加工技術(shù),壓阻式加速度傳感器具有體積小,、低功耗等特點(diǎn),,易于集成在各種模擬和數(shù)字電路中,廣泛應(yīng)用于汽車碰撞實(shí)驗(yàn),、測(cè)試儀器,、設(shè)備振動(dòng)監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域。
3,、電容式
容式加速度傳感器是基于電容原理的極距變化型的電容傳感器,。電容式加速度傳感器/電容式加速度計(jì)是對(duì)比較通用的加速度傳感器。在某些領(lǐng)域無(wú)替代,,如安全氣囊,,手機(jī)移動(dòng)設(shè)備等。電容式加速度傳感器/電容式加速度計(jì)采用了微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)工藝,,在大量生產(chǎn)時(shí)變得經(jīng)濟(jì),,從而保證了較低的成本。
4,、伺服式
伺服式加速度傳感器是一種閉環(huán)測(cè)試系統(tǒng),,具有動(dòng)態(tài)性 能好、動(dòng)態(tài)范圍大和線性度好等特點(diǎn),。
工作原理:傳感器的振動(dòng)系統(tǒng)由 "m-k"系統(tǒng)組成,,與一般加速度計(jì)相同,,但質(zhì)量m上還接著一個(gè)電磁線圈,當(dāng)基座上有 加速度輸入時(shí),,質(zhì)量塊偏離平衡位置,,該位移大小由位移傳感器檢測(cè)出來(lái),經(jīng)伺服放大器 放大后轉(zhuǎn)換為電流輸出,,該電流流過(guò)電磁線圈,,在磁鐵的磁場(chǎng)中產(chǎn)生電磁恢復(fù)力,力圖使質(zhì)量塊保持在儀表殼體中原來(lái)的平衡位置上,,所以伺服加速度傳感器在閉環(huán)狀態(tài)下工作,。
由于有反饋?zhàn)饔茫鰪?qiáng)了抗干擾的能力,,提高測(cè)量精度,,擴(kuò)大了測(cè)量范圍,伺服加速度 測(cè)量技術(shù)廣泛地應(yīng)用于慣性導(dǎo)航和慣性制導(dǎo)系統(tǒng)中,,在高精度的振動(dòng)測(cè)量和標(biāo)定中也有應(yīng)用,。